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XYZ真空位移臺(tái) 光學(xué)表面分析儀

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XYZ真空位移臺(tái)是為真空環(huán)境下三維位移和三維定位設(shè)計(jì)的三軸真空位移臺(tái),采用微米驅(qū)動(dòng)螺釘實(shí)現(xiàn)高靈敏度,在XYZ軸的移動(dòng)范圍是15mm,具有非真空XYZ位移臺(tái)供選擇

詳細(xì)介紹

XYZ真空位移臺(tái)是為真空環(huán)境下三維位移和三維定位設(shè)計(jì)的三軸真空位移臺(tái),采用微米驅(qū)動(dòng)螺釘實(shí)現(xiàn)高靈敏度,在XYZ軸的移動(dòng)范圍是15mm,具有非真空XYZ位移臺(tái)供選擇。
XYZ真空位移臺(tái)配置
公制7T38V XYZ真空位移臺(tái)配置:7T38V-3件, 2AB38V-1 件, 3P38V, 3CP38V, 3BP38V.
英制7T38EV XYZ真空位移臺(tái)臺(tái)配置:7T38EV-3 件, 2AB38V-1件, 3P38EV, 3CP38V, 3BP38V.
XYZ真空位移臺(tái)規(guī)格
移動(dòng)范圍 15mm
靈敏度 1µM
跟蹤精度 2µM
刻度步進(jìn) 10µm
負(fù)載能力 5kg
重量 1.35kg

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