這款XY納米位移掃描臺是平行平面的二維納米掃描位移臺和納米地位臺,非常適合用作共聚焦顯微鏡納米位掃描定位和掃描探針顯微鏡位移定位,也可用于納米傳感器獲取納米位移位置尺度數據的應用。
XY納米位移掃描臺采用單片金屬體鋁合金制成,對應壓電陶瓷激勵器和驅動部分采用了EDM導線腐蝕和其它精密加工方法構建,與傳統的壓電陶瓷管的納米掃描臺（掃描面位于球面）相比,這種設計使得納米掃描臺具有良好的直線度和平面度。
這款XY納米位移掃描臺的所有軸都配備了電容位移傳感器,包括在數字反饋鏈內。它提供了高精度和線性運動,消除了壓電陶瓷漂移(蠕變)的影響。XY納米位移掃描臺測量部分采用TDC（時間數字轉換器),安裝在離傳感器最近的位置,從而可以立刻發出與測量電容成正比的數字信號,限度地減少了外部電磁噪聲的影響,方便用于使用較長電線連接掃描臺和控制器。
這款平面平行XY納米位移掃描臺使用通用的控制器8NSC-3061和軟件NSpec控制8NTS-01XY納米位移臺。
實際上,XY納米位移掃描臺8NTS-01XY還可以與SPM控制器8NSC-3061和通用軟件NSpec組成完整的納米掃描臺及其數據采集和可視化系統,成為所有掃描顯微鏡的“核心”部分,幫助用戶“自制”掃描顯微鏡系統。還可以用于自制物理信號納米傳感器獲取信號在納米尺度的分布。
XY納米位移掃描臺控制器8NSC-3061可控制SPM掃描探針顯微鏡或共聚焦顯微鏡,配套的控制器可從納米掃描臺傳感器和外部設備采集數據，將控制電壓應用到掃描臺壓電激勵器上,通過計算機還可以可視化和進一步處理,控制信號由計算器傳輸到控制器,方便控制調整所有系統參數。
XY納米位移掃描臺控制器8NSC-3061是閉環反饋系統,基于高質量的20位TDC（時間數字轉換器）來測量電容位移傳感器。任何可用的系統信號據，將控制電壓應用到掃描臺壓電激勵器上,通過計算機還可以可視化和進一步處理,控制信號由計算器傳輸到控制器,方便控制調整所有系統參數。
XY納米位移掃描臺控制器8NSC-3061(SPM控制器)具有2通道鎖相放大器來提供共振SPM技術,例如非接觸SPM掃描模式。鎖相放大器中包括基于數字頻率合成器的高穩定電壓發生器,采用可編程邏輯PLIS電路實現高速數據處理,可以在1.5MHz帶寬時進行高質量鎖定。
平面平行納米掃描臺控制器8NSC-3061配置了12個通道的麥芽通道步進電機控制掃描臺和掃描頭,并可選配微調功能。
XY納米位移掃描臺控制器有外部模擬輸入和輸出接口用于連接外部設備,方便同步輸入輸出,通過USB接口連接到PC工作站。
納米掃描臺配備了通用軟件Nspec,具有廣泛處理數據能力,不僅支持現代SPM技術,還可以在不同的操作系統下運行。
XY納米位移掃描臺規格
XY掃描范圍 100x100µm
最小掃描步進 0.1nm
整范圍內的角度傾斜 <0.001°
掃描速度 10Hz（行/秒）
樣品載重 100g
XY諧振頻率 1kHz
非線性殘余 ≤0.03%
傳感器類型 電容傳感器
內置TDC時間數字轉換器: 24位
