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納米壓電掃描臺-40µm/0.1nm 光學表面分析儀

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產品型號8NTS-XYZ-40-SPM

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更新時間：2022-11-06 09:45:54瀏覽次數：167次

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產品簡介

這款平面平行納米壓電掃描臺NanoPiezoScanningStage是專業為納米掃描和納米定位掃描設計的平行平面壓電納米掃描器,廣泛用于在開放或閉環系統中光學元件納米定位掃描和掃描探針器件的掃描納米定位應用

詳細介紹

這款平面平行納米壓電掃描臺Nano Piezo Scanning Stage是專業為納米掃描和納米定位掃描設計的平行平面壓電納米掃描器,廣泛用于在開放或閉環系統中光學元件納米定位掃描和掃描探針器件的掃描納米定位應用。納米壓電掃描臺配備了電容位移傳感器，進行數字閉環控制。它提供了高精度和線性運動，消除了對壓電陶瓷的蠕變效應。其電容測量部分是基于TDC（時間數字轉換器），所有的電子元件安裝在離傳感器最近的位置。該種設計降低了噪音，實現了高速位移控制。

平面平行納米壓電掃描臺特點
雙電容傳感器反饋技術
低頻噪聲電阻
補償壓電陶瓷的蠕變效應
掃描行程是40µm
超高分辨率為0.1nm
設計緊湊，重量輕，剛度高
適用于通用應用
顯微鏡應用的理想掃描臺
還提供真空納米壓電掃描臺
平面平行納米壓電掃描臺中心活動部件掛在柔性彈簧上,由壓電驅動器驅動，確保了應用的高剛度和高穩定性。納米壓電掃描臺為運動提供了的線性和平整度，與經典的采用壓電陶瓷管掃描臺相比,可步進可提供球形掃描面，還具有更高機械強度。
納米壓電掃描臺使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000，或是NSpec軟件控制納米壓電掃描器。
平面平行納米壓電掃描臺應用包括：
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
微電子學應用
微操作等。
平面平行納米壓電掃描臺規格
運動特性
主動軸 XYZ
XY運動范圍 40x40µm
Z軸運動距離 5µm
諧振頻率Z軸 50KHz
諧振頻率XY軸 5KHz
分辨率（閉環） 1nm
分辨率（開環） 0.1nm
整范圍內的角度傾斜＜0.01°
掃描速度 50Hz
負載能力 50g
操作溫度范圍 - 40~80°C
尺寸 70 x 62 x 32.2mm
材料鋁

關鍵詞：位移傳感器數字轉換器傳感器顯微鏡