C-V/I-V特性測試儀是為半導體C-V特性分析測試和I-V特性測試分析設計的C-V/I-V測試系統。
C-V/I-V特性測試儀具有較高的C-V測試精度，提供流線型C-V曲線和偏置溫度壓力程序，方便用戶使用，點擊鼠標就可測量C-V曲線，顯示所有C-V曲線繪圖和測試結果。密碼保護功能允許使用人員預設所有C-V測試結果和壓力測試周期。測試結果可保存起來用于后來分析。
C-V/I-V特性測試儀功能
提供Swept,Retrace或Pulsed閃光”和“穩定”功能可達到平衡反轉電容。
電導率測量：測量電導率和電容測量真實的器件電容值和耗盡區電導。
摻雜曲線：可把C-V曲線數據轉換成“摻雜曲線”，這種摻雜曲線非常適合低摻雜離子注入監測。
C-V/I-V特性測試儀規格參數
PN結摻雜分布：范圍1x10^13離子/cm^3到1x10^18離子/cm^3,深度0.01微米~100微米。
深度和摻雜范圍由零偏壓耗盡寬度,擊穿電壓和儀器電壓范圍決定。
典型值：1x10^15離子/cm^3,深度：1~17微米
1x10^16離子/cm^3,深度：0.33~2.5微米
精度：典型+/-2%
MOS摻雜分布：范圍2x10^14離子/cm^3到5x10^17離子/cm^3,深度0.01微米~10微米。
深度和摻雜范圍由擊穿電壓,氧化層擊穿和儀器電壓范圍決定。
典型值：1x10^15離子/cm^3,深度：0.01~5微米
1x10^16離子/cm^3,深度：0.01~2微米
精度：典型+/-5%
植入劑量計算： 范圍5x10^10離子/cm^2到5x10^12離子/cm^2,
精度：典型+/-8%
壽命： 范圍0.1微秒~0.1秒
典型值：100~1000微秒
精度：典型+/-8%
平帶電壓偏移： 范圍：0.005V~50V
典型值：0.05V~0.2V
精度：+/-2%
流動離子電荷濃度:范圍1x10^10離子/cm^2到1x10^13離子/cm^2
典型值：2x10^10離子/cm^2/eV
精度：典型+/-2%，+/-1x10^10離子/cm^2
界面陷阱密度：范圍2x10^9離子/cm^2/eV到1x10^12離子/cm^2/eV
典型值：3x10^10離子/cm^2
精度：典型+/-7%，+/-3x10^9離子/cm^2/eV
C-V特性 范圍：+/-100V,+/-10fA ~+/-1mA
精度：+/-1%
結二極管參數： 范圍：Rs0.1~1000歐姆，Is:1x10^-3 ~ 1x 10^-8安培, n:1.0~2.0
典型值：Rs 2歐姆， Is 1x10^-11安培, n:1.2
精度：+/-5%
氧化物擊穿場 范圍：0~20MV/cm
典型值：8MV/cm
精度：+/-5%.
