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    孚光精儀(中國)有限公司


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    大型晶圓探針臺

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    參  考  價面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號FPPRB-600LS

    品       牌

    廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

    所  在  地

    聯(lián)系方式:陳小姐查看聯(lián)系方式

    更新時間:2021-08-17 10:54:22瀏覽次數(shù):102次

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    經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

    商鋪產(chǎn)品:1482條

    所在地區(qū):

    聯(lián)系人:陳小姐 (銷售)

    產(chǎn)品簡介

    大型晶圓探針臺600LS是專業(yè)為300mm晶圓測試設(shè)計的大尺寸晶圓測試探針臺系統(tǒng),廣泛用于6晶圓,8晶圓和12晶圓探針測試應(yīng)用

    詳細介紹

    大型晶圓探針臺600LS是專業(yè)為300mm晶圓測試設(shè)計的大尺寸晶圓測試探針臺系統(tǒng),廣泛用于6''晶圓,8''晶圓和12''晶圓探針測試應(yīng)用。
    晶圓夾盤拉出特色
    方便而安全的晶圓更換功能
    對于12英寸晶圓也可無障礙更換
    包含人體工程學(xué)把手設(shè)計,帶有可重復(fù)觸發(fā)的釋放/鎖止功能
    采用重型精密滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)
    雙Z軸氣體沖擊輔助機械壓盤升降系統(tǒng)
    顯微鏡升降延遲可調(diào)offset
    裝卸晶圓過程中,避免探針卡和探針對顯微鏡物鏡造成干擾

    壓盤制冷
    空氣制冷,減少探針漂移

    集成減震臺降低振動影響,帶有可調(diào)滾輪和操縱桿支架
    高分辨率電機驅(qū)動:310mm XY位移臺驅(qū)動具有亞微米分辨率
    操縱桿控制
    雙速預(yù)操作控制XY或Z軸
    可停止操縱桿控制
    快速按下功能方便操作
    操縱桿控制
    雙速預(yù)操作控制XY或Z軸
    可停止操縱桿控制
    快速按下高速按鈕功能方便操作,XY或Z轉(zhuǎn)換時,自動提高位移速度.
    Theta角度控制30度手動分辨率,可根據(jù)用戶要求選配電動控制
    顯示器平臺-方便觀看,不遮擋觀看
    模塊化設(shè)計平臺-可根據(jù)探針的改變而升級,多種探診臺附件和升級辦法供用戶選擇
    探針卡支架-優(yōu)化設(shè)計,適合4.5英寸寬度探針卡

    晶圓探針臺規(guī)格參數(shù)600LS
    顯微鏡位移
    X-Y操縱桿驅(qū)動,50.8mm x 50.8mm(2” x 2”) ,可選升級到203mm x 203mm (8”X 8”)
    聚焦 (Z)軸旋鈕驅(qū)動,50.8mm (2”) 標準配置; 可選配升級到100mm (4”) 帶有粗調(diào)/微調(diào)聚焦旋鈕
    顯微鏡升降延遲:可調(diào)節(jié),根據(jù)壓板Z的功能提升顯微鏡,以防止損壞探針卡和探針
    支持的顯微鏡:QIOPTIQ A-Zoom Meiji stereo-Zoom USMCO, Motec&Seiwa顯微鏡

    位移臺/晶圓卡盤X-Y-Theta位移
    X-Y操縱桿驅(qū)動,310mm x 310mm
    Theta角旋轉(zhuǎn):手動控制+/-15度。(可選600-EVS-12SS卡盤,采用300mm不銹鋼表面,可選真空環(huán)用于4英寸,6英寸,8英寸,12英寸晶圓,平整度+/-12微米。)

    晶圓卡盤-裝載/卸載
    12英寸滑行行程,便于輕松裝卸晶圓;符合人體工程學(xué)的手柄設(shè)計,具有可重復(fù)的機械觸發(fā)釋放/鎖定功能和重型精密軸承導(dǎo)軌
    壓板Platen:大面積可容納10個或更多的機械手,專為高溫測試所需的風冷而設(shè)計。 磁性不銹鋼表面,穩(wěn)定的四點絲杠驅(qū)動。包括兩個可定位的真空歧管。

    Z軸微調(diào)提升和降低-真實平面垂直運動,亞微米精度
    Z軸行程:50.8mm (2’’)
    Z軸快速提升控制:帶有鎖定Zup位置的Quickplaten升降機,可快速清理工作區(qū)域。升降行程:50.8mm(2”)

    Joystick操縱桿
    大型便捷操縱桿具有高/低速控制按鈕位于頂部,旋轉(zhuǎn)的操縱桿手柄控制壓板Z,智能電動驅(qū)動控制(順時針:壓板向下,逆時針:壓板向上)。位移臺X-Y啟用-暫停功能將位移臺鎖止在所需位置。對齊啟用-停止功能可以鎖止Y軸,以便晶圓可以在X軸上對齊而不會意外移動Y軸。
    探針卡支架-適合標準4.5‘’探針卡(其它規(guī)格可按用戶要求提供)
    尺寸重量:38” (96cm) D x 48” (122cm) W x 55” (140cm) H 凈重181Kg
    外觀處理:發(fā)黑氧化鋁,不銹鋼涂粉工藝

    關(guān)鍵詞:顯微鏡 顯示器 標準 機械手
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