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小型工業

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產品型號FPGAM-EX5A

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更新時間：2021-08-16 20:57:01瀏覽次數：99次

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產品簡介

小型工業EX5A和EX5AR（加固型）在微型基礎上提高激光性能,激光器壽命大大延長，激光能量輸出和平均功率也高于標準的

詳細介紹

小型工業EX5A和EX5AR（加固型）在微型基礎上提高激光性能,激光器壽命大大延長，激光能量輸出和平均功率也高于標準的。非常適合需要高占空比和最少維護的激光應用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬8~10ns,重復頻率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高達8W，193nm激光功率高達4W。
小型工業EX5A/AR規格
工作物質 F2 ArF KrF XeCl XeF
波長nm 157 193 248 308 351
能量mJ 1.5/2.5* 14 20 12 8
峰值功率MW 0.30 2.0 2.5 1.25 0.8
平均功率W@250Hz 0.3/0.4 3.0 5.0 2.5 1.4
平均功率W@500Hz 0.5 6.0 8.0 4.0 2.5
平均功率W@1000Hz 1.0 9 14 6.0 5.0
能量mJ @2000Hz 0.7 0.9
平均功率W@2000Hz 1.0 1.4
動態氣體壽命@50%能量 10E6 12E6 18E6 20E6 15E6
50%能量保存期 10天 15天 30天 >2個月 30天
脈寬ns 8-10
穩定性 <2%標準偏差
激光管壽命 50億脈沖
光束尺寸，mm 3X 6
發散角mRad全角 1 X 2
冷卻空氣/水冷
定時抖動 2ns標準偏差
重量 15kg 250/500Hz，35kg 1000/2000Hz

關鍵詞：標準

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