中功率是全金屬/陶瓷器件氣體激光器,采用*的線性設計在緊湊封裝中產生高能量準分子激光輸出,靜態和動態氣體壽命遠高于其它。在真空紫外157nm波長的F2氣體壽命優勢尤其明顯，靜態氣體壽命超過15天，而其它品牌的氣體壽命多為1天。適用于紫外激光微加工,可調諧激光泵浦,激光質譜分析等應用。可提供193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬6-8ns,重復頻率300Hz,248nm激光功率3，193nm激光功率高達4W。
中功率具有較高重復頻率和中等激光功率,結構緊湊而具有的準分子激光性能,可靠性強,重復頻率為250Hz和500Hz，KrF激光器248nm波長平均功率為12W.
高效放電
高效率是獲得優異激光性能的關鍵。中功率的工作效率是同類小型的3倍。這意味著只需要輸入1/3的能量就可以實現相同的準分子激光輸出。優化的軟電暈預電離狀態在重復頻率高達1000Hz時產生均勻的高效率放電，開關抖動小于2nS標準偏差。此外，這種激光效率的提高大大減少了沉積在放電中的能量浪費，從而降低了電磁干擾，大大減少了電極和元件的磨損。這也增加了整個中功率系統的使用壽命，并允許以重復率進行風冷操作。
中功率具有主動熱穩定特性。這使得激光器能夠長期工作，具有優異的指向穩定性，優于20urad/℃。
中功率優點
•易于使用的一體式緊湊結構
•內部真空泵和鹵素過濾器
•計算機控制
•高脈沖穩定度
•超長氣體壽命
•的全金屬/陶瓷技術
•高穩定性電暈預電離
•10億脈沖壽命
•70mJ/100Hz TEA二氧化碳版
中功率應用
•替代科研激光器
•電離源
•紫外激光微加工
•精密激光打標
•屈光手術
•拉曼光譜
中功率規格參數
工作物質 ArF KrF XeCl XeF
波長nm 193 248 308 351
能量mJ 6 10 8 6
峰值功率MW 0.85 1.43 1.14 0.85
平均功率W@300Hz 1.8 3 2.4 1.8
動態氣體壽命 12E6 18E6 20E6 15E6
50%能量
靜態氣體壽命 15天 30天 >3個月 30天
重復頻率 300Hz
脈寬ns 6-8ns
光束尺寸 6 x 3 mm V x H
穩定性 <3%標準偏差
光束發散角 2 x 1 mRad V x H
冷卻 空氣
激光管壽命 20億脈沖
電源要求 120 VAC, 5 Amp, 600 W
重量 8kg
尺寸 13英寸x 7英寸x 7英寸
