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紫外

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產品型號FPGAM-EX50

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更新時間：2021-08-16 20:52:36瀏覽次數：100次

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產品簡介

這款紫外是中功率準分子紫外激光器,適合脈沖激光沉積,調諧激光泵浦,脈沖激光電離,半導體激光處理,紫外激光微納加工等應用

詳細介紹

這款紫外是中功率準分子紫外激光器,適合脈沖激光沉積,調諧激光泵浦,脈沖激光電離,半導體激光處理,紫外激光微納加工等應用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬17~20ns,重復頻率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高達20W，193nm激光功率高達10W。
紫外特征
•大功率
•2ns低觸發抖動
•的脈間穩定性
•氣體壽命長
•長壽命光學
•電暈預電離
•車載真空泵

紫外應用
•替代科研激光器
•脈沖激光電離源
•微納激光加工
•精密標記
•屈光手術
•拉曼光譜
紫外EX50規格
工作物質 F2 ArF KrF XeCl XeF
波長nm 157 193 248 308 351
能量mJ 2.5 35 50 22 20
平均功率W@250Hz 0.5 5 10 5 5
平均功率W@500Hz 1 10 20 10 10
動態氣體脈沖壽命50%能量 15E6 25E6 35E6 30E6 30E6
靜態壽命50%能量 15天 90天 120天 >1年 120天
重復頻率 250/500/750Hz
脈寬 17-20ns
光斑尺寸 9 x 4 mm V x H
穩定性 <2%標準偏差
發散角 0.8 x 1.6 mRad V x H
冷卻空氣250，500 Hz/水1000 Hz
激光管壽命 >30億脈沖
電源 120 VAC, 5 Amp, 600 W
重量 48kg

關鍵詞：真空泵標準脈沖電源

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