孚光精儀（中國）有限公司
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<ul id="qqie6"></ul> 孚光精儀（中國）有限公司
窄線寬是專業為光譜學應用設計的窄光譜帶寬,非常適合光刻,激光計量,熒光光譜,拉曼光譜,FBG等應用
| 工作物質 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF |
| 中心波長 nm | 157 | 193.3 | 248.35 | 308-311 | 351, 533 |
| 能量mJ. <1pm | 2 | 4 | 2 | 2 | |
| 能量mJ. <0.35pm | 1 Line | 0.75 | 2 | ||
| 波長調諧范圍 pm | +/- 200 | +/-200 | N/A | ||
| 平均功率@125Hz | 0.30 | .25 | 0.3 | 0.3 | |
| 平均功率 @250Hz | 0.5/1 | .5/1 | 0.50 | 0.5 | |
| 平均功率@500Hz | 1/2 | 1/2 | 1.0 | ||
| 功率穩定性 % | Call | <3% | |||
動態氣體壽命 | 10E6 | 12E6 | 15E6 | 20E6 | 15E6 |
| 靜態氣體壽命 （50%脈沖能量） | 10 days | 20 days | 30 days | 90 Days | 30 Days |
| 脈寬, ns | 14-18 | ||||
| 光束直徑, mm | 9 X 4 | ||||
| 發散角, mRad （全角） | 0.8 X 1.6 | ||||
| 激光管壽命 | 2-3 Billion Pulses | ||||
| 窗口壽命 | 200E6 | >500E6 | >500E6 | ||
| 制冷 | 空氣/水 | ||||
| 工作物質 | ArF | KrF |
| 激光波長, nm | 193 | 248 |
| 能量, mJ | 5 | 15 |
| 線寬 pm | 25 | 20 |
| 光束形狀 | 高斯光束 | |
| 波長調諧 | +/-200pm | +/-200pm |
| 平均功率W @ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
| 平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
| 重復頻率. Hz | 25/250 | |
| 穩定性 | <3% 1 Sigma | |
| 靜態氣體壽命 50%能量 | 3 days | 10 days |
| 脈寬 nS | 8 | |
| 穩定性 | <3% One Sigma | |
| 激光管壽命 | 1000 Million Pulses | |
| 光束尺寸, mm | 3X 6 | |
| 發散角（全角）, mRad | 1 X 2 | |
| 制冷 | AIR | |
| 抖動 | 2nS | |
| 重量 | 16kg | |
| 工作物質 | ArF | KrF |
| 波長, nm | 193nm | 248nm |
| 能量., mJ | 20mJ | 26mJ |
| 線寬, pm | <20pm | <20pm |
| 光束形狀 | 高斯光束 | |
| 波長調諧范圍 | +/-200pm | +/-200pm |
| 平均功率W@ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
| 平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
| 重復頻率 Hz | 25/250 | |
| 穩定性 | <3% 1 Sigma | |
| 靜態氣體壽命50%能量 | 3 days | 10 days |
| 脈寬 nS | 8 | |
| 穩定性 | <3% One Sigma | |
| 激光管壽命 | 1000 Million Pulses | |
| 光束尺寸, mm | 3X 6 | |
| 發散角（全角）, mRad | 1 X 2 | |
| 制冷 | 空氣 | |
| 時間抖動 | 2nS One Sigma | |
| 重量 | 16kg | |
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