3D激光拉曼顯微光譜系統是一款高靈敏度3D顯微激光拉曼光譜儀器和高3D空間分辨率的光纖共焦拉曼顯微光譜系統,該系統幫助用戶在短時間內獲得亞微米分辨率的拉曼光譜圖像。
3D激光拉曼顯微光譜系統每個模塊（激發激光器、拉曼光學單元、光譜儀）采用光纖耦合連接,使系統布局靈活緊湊,不再需要用戶光路準直的日常維護工作。
3D激光拉曼顯微光譜系統配備了正置顯微鏡,壓電精密電控位移臺和步進電機掃描儀,支持了快速樣品定位和拉曼光譜繪圖。
3D激光拉曼顯微光譜系統特點
拉曼成像空間分辨率高達300nm
高靈敏度：1分鐘內可探測Si的四階Raman峰
共聚焦激光顯微鏡用于3D拉曼
超高穩定性設計，拉曼光學器件直接耦合到顯微鏡
不需要校準光路,不需要維護調整,全固態無移動型光纖耦合設計
納米級定位精度,壓電XYZ三維電動位移臺提供納米定位精度
模塊化的光學單元,光譜儀,CCD探測器和激光器,根據不同客戶需要方便配置
Deconvolution軟件支持空間分辨率1.5x提升
占用空間小,拉曼光學器件單元直接安裝到正置顯微鏡上，節省實驗室空間
模塊化設計,可快速更換激光器等,方便不同材料的拉曼光譜研究
3D激光拉曼顯微光譜系統在鋰離子電池研發的應用
創新性“線掃描模式”支持“敏感樣品”安全測量
?把激光束聚焦成線狀,降低激光功率密度，防止損傷樣品。
?同時收集激光線上多個點的拉曼光譜。
?使用集成滑塊在傳統點掃描和創新線掃描模式之間輕松切換。
※可用用于：Nanofinder®FLEX2?Nanofinder®FLEX（即將推出）
3D激光拉曼顯微光譜系統在ZnTe材料缺陷探測上的應用
“大面積掃描功能”支持大尺寸樣本的快速拉曼光譜mapping
?具有毫米、厘米或更大掃描區域的步進電機位移臺支持拉曼mapping成像。
?通過同步恒速樣本移動和數據采集進行快速掃描。
?在點掃描和快速掃描模式之間輕松切換。
?可與“線掃描功能”選項組合。
※大面積掃描功能需要步進電機位移臺支持。
3D激光拉曼顯微光譜系統2D mapping和Si的四階Raman峰
3D激光拉曼顯微光譜系統3D mapping功能展示（Li-ion電池正電極,LiCoO2材料和退化材料物質Co3O4拉曼分析）
3D激光拉曼顯微光譜系統規格配置
系統配置| 系統配置 | 正置微鏡 |
| 拉曼光學單元 |
| 成像光譜儀 |
| 制冷CCD探測器 |
| 壓電位移臺（支持XYZ三維） |
| 激發用激光器 |
| 控制器/軟件/23英寸LCD |
| 空間分辨率 | XY <300 nm, Z <900 nm |
| 靈敏度 | 1min/piont （488nm/5mW）內高靈敏度測量四階Si拉曼峰 |
各單元規格
拉曼光學單元
一臺激勵用的激光器（根據激光器的不同進行單元交換）FC連接器光纖耦合光譜儀和激光器
成像光譜儀單元
耦合光纖 SUS保護套Φ10×60 mm
焦距 35cm，F/3.8
倒線色散 2.37 nm/1200G/mm
波長分辨率 0.06nm@550nm, 1200G/mm
波數分辨率 2cm-1@550nm，1200G/mm
光柵數 4
制冷型CCD探測器
像素數 1024×127
像素尺寸 26×26μm2
成像面積 26.6×3.3mm
制冷溫度 -100℃（水冷），-80℃（空氣冷卻）
精密壓電位移臺（閉環）
X-Y-Z行程 100μm
分辨率 5nm
重復精度 ±5 nm
內置傳感器 電容傳感器
激發用激光器
通用配置 光纖輸出,FC連接器,耦合光纖長度2m,可提供多種功率
DPSS激光器 波長532nm,光功率25mW(光纖出口處）
LD激光 波長785nm,光功率40mW(光纖出口處）
其它可選激光 473nm、488nm、514nm、633nm、671nm等。可提供脈沖激光器（用于FLIM熒光壽命成像應用） 控制/分析軟件功能：
| 映射Mapping控制 |
| 數據采集/保存 |
| 拉曼/熒光光譜顯示 |
| 光譜儀校準 |
| 2D/3D成像,任意截面切片成像 |
| 光譜/圖像分析 |
| 光譜峰值擬合 |
| 反褶積 |
| 安裝空間要求 | 顯微鏡和拉曼光學單元600（W）×700（H）×850（D）mm
（包括光譜儀/CCD、壓電級、控制器） |
| 耗電量 | 1200W，100伏 |
| 可選項 | 低溫恒溫器、加熱臺、電化學盒、TCSPC板、光譜數據庫等。 |
