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多功能緊湊型MBE

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產品型號FPSEM-STE75

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更新時間：2021-08-16 18:46:30瀏覽次數：158次

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產品簡介

這款多功能緊湊型MBE系統具有三個腔室,適合用于А3В5,寬帶А2В6和А3N化合物（訂制版本）的生長,MBE系統設計吸收了這些材料系統中分子束外延的成果,非常適合用于半導體材料領域中基于А3В5寬帶А2В6和III氮化物的材料生長研發

詳細介紹

這款多功能緊湊型MBE系統具有三個腔室,適合用于А³В⁵, 寬帶А²В⁶ 和А³N 化合物（訂制版本）的生長,MBE系統設計吸收了這些材料系統中分子束外延的成果,非常適合用于半導體材料領域中基于А³В⁵寬帶А²В⁶和III氮化物的材料生長研發。
多功能緊湊型MBE系統基本配置：
•生長室的垂直生長幾何結構
•10個水冷63CF端口，用于帶百葉窗的滲出細胞，3個40CF和1個不帶百葉窗的63CF–共14個端口
•易于接近滲出細胞快門組件
•緊湊的單液氮冷凍板，有效地包圍生長體積
•基于PBN/PG/PBN加熱元件的生長機械手排氣階段
•標準的分子源，包括5個滲出細胞，V（VI）組或N2血漿細胞的帶閥裂解器
•適用于材料應用的泵送子系統
•生長過程數據現場監測的所有必要工具：RHEED、紅外高溫計、Bayard-Alpert束流監測器、激光干涉儀（可選）
•準備室，帶有晶片夾持器的存儲盒（6個）和脫氣臺，帶有基于離子泵的獨立泵送系統：用于原子氫端口的特殊端口
•裝載鎖室，帶有基板支架的存儲盒（3個），快速檢修門和基于渦輪分子泵的泵送系統
•一套基板支架
•適當的超高壓儀表
•烘烤系統（高達200°C），無熱點形成
•控制電子設備
•過程控制系統

多功能緊湊型MBE系統主要優勢：
•簡單集成到特高壓集群工具中
•基本系統配置中包括用于生長參數現場監測的所有必要儀器
•由于生長機械手加熱階段的特點，基板加熱和冷卻速率高，控制熱電偶和實際表面溫度之間的溫差小
•緊湊的“足跡”
•極低的液氮消耗量（低于10-15升/小時?。?/span>
•安裝期間的有效技術支持，包括基本工藝轉移
•簡單的系統操作和定期的技術維護
多功能緊湊型MBE系統參數：

烘烤后生長室的最終真空度，Torr	<5×10^-11
基板直徑，mm	76.2 (3″)
3″基板的厚度和成分不均勻度，%	±1
生長機械手加熱元件的設計	PBN/PG/PBN
旋轉時的基板溫度，℃： –對于A3B5/A2B6化合物，不少于 –對于A3N化合物，不少于	900 1200
制備室加熱階段基板脫氣的溫度，℃	650（III氮化物版本為1100）
生長室烘烤溫度，不低于，℃	200