孚光精儀（中國(guó)）有限公司
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<ul id="qqie6"></ul> 孚光精儀（中國(guó)）有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)FPNAN-NS-3500
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地
聯(lián)系方式：陳小姐查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2021-08-16 16:06:06瀏覽次數(shù)：98次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)這款高速共焦激光掃描顯微鏡（CLSM），用于精確可靠的三維（3D）測(cè)量
這款高速共焦激光掃描顯微鏡（CLSM），用于精確可靠的三維（3D）測(cè)量。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)共焦顯微圖像,廣泛用于微納尺度的臺(tái)階高度測(cè)量，寬度測(cè)量,長(zhǎng)度測(cè)量等。廣泛用于半導(dǎo)體晶片、平板產(chǎn)品、MEMS器件、玻璃基板、材料表面等微觀三維結(jié)構(gòu)的測(cè)量和檢測(cè)。
高速共焦激光掃描顯微鏡特點(diǎn)
-高分辨率無(wú)損光學(xué)三維測(cè)量
-實(shí)時(shí)共焦成像
-各種光學(xué)變焦
-同時(shí)亮場(chǎng)和共焦成像
-具有精細(xì)自動(dòng)聚焦的自動(dòng)增益搜索
-傾斜補(bǔ)償
-簡(jiǎn)易分析模式
-精密可靠的高速測(cè)高
-通過(guò)半透明基板檢查特征
-無(wú)樣品制備
-寬范圍檢測(cè)的圖像拼接
高速共焦激光掃描顯微鏡應(yīng)用
這款共焦顯微鏡可以測(cè)量微納結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積，體積，比如?
半導(dǎo)體領(lǐng)域：IC圖案、凸起高度、線環(huán)高度，缺陷檢查，CMP工藝
FPD產(chǎn)品：觸摸屏檢查，ITO圖案，LCD列間隔高度
MEMS設(shè)備–結(jié)構(gòu)的三維輪廓，表面粗糙度,MEMS圖形
玻璃表面-薄膜太陽(yáng)能電池，太陽(yáng)能電池紋理，激光圖形
材料研究-工裝表面檢查，糙度、裂紋分析
高速共焦激光掃描顯微鏡規(guī)格參數(shù)
| 規(guī)格 | 顯微鏡 | NS-3500 | Remark | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 控制器 | NS-3500E | ||||||
| 物鏡倍數(shù) | 10× | 20× | 50× | 100× | 150× | ||
| 觀察 /測(cè)量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | 93 | |
| 豎直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | 70 | ||
| 工作距離: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | 0.2 | ||
| 豎直孔徑 (N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | 0.95 | ||
| 光學(xué)放大 | ×1 ~ ×6 | ||||||
| 總放大 | 178× ~ 26700× | ||||||
| 觀察/測(cè)量的光學(xué)系統(tǒng) | 小孔Pinhole共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | ||||||
| 高度測(cè)量（臺(tái)階模式） | 測(cè)量掃描范圍 | Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800-L] | Note 1 | ||||
| Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800-D | |||||||
| Fine scan : 200 μm (or) Long scan : 10 mm [NS-3800-T] | |||||||
| 顯示分辨率 | 0.001 μm | ||||||
| 重復(fù)精度 σ | 0.010 μm | Note 2 | |||||
| 寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.001 μm | |||||
| 重復(fù)精度3σ | 0.02 μm | Note 3 | |||||
| 幀內(nèi)存 | 像素計(jì)數(shù) | 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96 | |||||
| 共聚焦圖像圖像 | 12 bit | ||||||
| 彩色圖像 | 8-bit for RGB each | ||||||
| 高度測(cè)量 | 16 bit | ||||||
| 幀頻 | 表面掃描 | 20 Hz to 160 Hz | |||||
| 線掃描 | ~8 kHz | ||||||
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦 | ||||||
| 光束光源 | 波長(zhǎng) | Violet laser, 405 nm | |||||
| 輸出 | ~2 mW | ||||||
| 激光光源 | Class 3b | ||||||
| 激光探測(cè)器 | PMT (photomultiplier tube) | ||||||
| 數(shù)據(jù)處理 | Dedicated PC | ||||||
| 供電要求 | 供電要求 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||||
| 電流消耗 | 500 VA max. | ||||||
| 重量 | 顯微鏡 | Approx. ~ 8 kg | |||||
| 控制器 | ~8 kg | ||||||
Fine scan is performed by piezoelectric actuator (PZT).
Dual scan mode by fine and long scanner is available only for single lens type.
100 times measurement of standard sample (1μm step height) with 100× / 0.95 objective.
100 times measurement of standard sample (5μm pitch) with 100× / 0.95 objective.
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