這超高真空超低溫四探針SPM是超高真空室內應用設計的UHV極低溫多探針掃描探針顯微鏡，得益于多探針SPM優異性能,這款產品可用于納米技術。
這超高真空超低溫四探針SPM采用四個獨立控制的探針掃描顯微鏡，用于器件評價和超低溫等寬溫度范圍內的微納尺度表面電導率測量。
超高真空超低溫四探針特征
利用SEM實現納米級定位
每四個探針都有STM/AFM功能
納米尺度四端電導測量
分子束外延超高真空室
準備好進行光輻照、發射測量、高頻測量
孔效應，自旋測量適用于使用超導線圈（可選）
超高真空超低溫四探針SPM應用
用微納米尺度測量導電薄膜的四端電阻率
納米結構和納米點的電導率測量
有機導電層和半導體電導率的溫度依賴性測量
納米器件的局部電特性分析
不同溫度下的STM成像
廣泛應用于表面分析
超高真空超低溫四探針SPM規格參數
分辨率: XY<2pm, Z<0.2pm
磁場：無
高真空：<10^-8Pa
超低溫：3-100K可調溫度
STM: 可選配
其它：可以配備安裝透鏡，用于連接其它光學儀器
| | 四探針STM頭 |
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| 掃描范圍 (X×Y×Z) | 0.38 × 0.38 × 0.38 µm3 @ 5 K |
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| 最小分辨率（STM) | X, Y: 0.1 nm (Atomic resolution)
Z: Under 0.02 nm |
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| 樣品和探針臺 | MAX range X, Y: 5 mm; Z: 3 mm |
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| | FE-SEM |
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| 最小分辨率 | 20 nm (acceleration voltage 25 kV, WD 15 mm, probe current 1 nA)
MAX field of view 3 mm × 3 mm (acceleration voltage 5 kV) |
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