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聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)FPORS-FIB

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更新時(shí)間：2021-08-16 15:49:09瀏覽次數(shù)：106次

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孚光精儀（中國(guó)）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

這套聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)是一種超高真空UHV條件多功能FIB系統(tǒng),既可以配置為掃描電子顯微鏡SEM,也可以配置為結(jié)合SEM和高性能聚焦離子束FIB的雙束平臺(tái)

詳細(xì)介紹

這套聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)是一種超高真空UHV條件多功能FIB系統(tǒng),既可以配置為掃描電子顯微鏡SEM,也可以配置為結(jié)合SEM和高性能聚焦離子束FIB的雙束平臺(tái)。
這套聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)采用模塊化結(jié)構(gòu)，允許大量選擇符合終端用戶特定需求和目標(biāo)的SEM和FIB柱。為要求無(wú)污染環(huán)境的樣品提供、完整和定制的FIB納米加工、表面分析解決方案。
聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)特點(diǎn)
全高真空設(shè)計(jì)-無(wú)污染：是臺(tái)超高壓設(shè)計(jì)的FIB-SEM儀器
*可定制的系統(tǒng)-超高壓納米空間可以定制，以便*特定需求。
在選擇時(shí)給予了*的靈活性-FIB柱、SEM柱、注氣系統(tǒng)和其他附加配件，視要求而定
高質(zhì)量設(shè)計(jì)-*的條件和*的雙光束幾何允許
原位掃描電鏡與優(yōu)質(zhì)二次鋼的相關(guān)性
單個(gè)儀器中的離子質(zhì)譜圖像
高分辨率成像-納米空間可以集成靜電掃描電鏡或，既能產(chǎn)生高質(zhì)量圖像的磁性掃描電鏡
準(zhǔn)確的樣品控制-超高真空兼容6軸工作臺(tái)允許裝載樣品，長(zhǎng)度和寬度小于或等于100 mm
全自動(dòng)儀器-納米空間控制和成像軟件,符合人體工程學(xué)，易于使用。真空系統(tǒng)*關(guān)閉自動(dòng)化，以確保安全，快速和方便的真空操作
特高壓連接-特高壓中間室的設(shè)計(jì)是為了確保與特高壓第三方*連接的儀表,系統(tǒng)、工藝集群或同步加速器束線
還可以配備超高壓兼容的氣體注入系統(tǒng)（GIS），用于局部金屬沉積和選擇性蝕刻。也可以通過(guò)超高壓中間室與第三方系統(tǒng)（如MBE集群、表面分析儀器）進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)連接。這種連接性拓寬了納米空間的應(yīng)用范圍。

Vacuum Performances
Main Chamber Vacuum	5.10^-10 mbar
UHV Configuration	Maximum instrument bakeout temperature is 120°C
Sample Main Chamber Introduction	30 min