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晶圓翹曲度厚度測試儀

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產品型號FPEH-MX20

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更新時間：2021-08-16 15:30:32瀏覽次數：1406次

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孚光精儀（中國）有限公司

經營模式：經銷商

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產品簡介

晶圓翹曲度厚度測試儀是專業為晶圓翹曲度測量和晶圓厚度測量設計的晶圓厚度翹曲度測量儀器

詳細介紹

晶圓翹曲度厚度測試儀是專業為晶圓翹曲度測量和晶圓厚度測量設計的晶圓厚度翹曲度測量儀器。
晶圓翹曲度厚度測試儀應用
晶圓來料檢測
晶圓研發和質量控制

標準厚度型號

型號	晶圓直徑	傳感器計數	可測厚度范圍	精度	分辨率	測量指標
MX 203-4-21	2", 3", 4"	5, 13, 21	200 - 800µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-6-33	4", 5", 6"	17, 25, 33	300 - 900µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-8-37	6", 8"	21, 37	400 - 1000µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-37	6", 8"	21, 37	400 - 900µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 2012	12"	69	500 - 1000µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 2012-H	12"	69	500 - 900µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp

背面研磨型

型號	晶圓直徑	傳感器計數	可測厚度范圍	精度	分辨率	測量指標
MX 203-6-33-B	4", 5", 6"	17, 25, 33	100 - 700µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-8-37-B	6", 8"	21, 37	200 - 700µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-58-37	5", 6", 8"	13, 21, 37	200 - 800µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-8-49-B	4", 5", 6", 8"	17, 25, 33, 49	150 - 650µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-37-B	6", 8"	21, 37	200 - 700µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-6-13-V	5", 6"	5, 13	100 - 700µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-21-V	6", 8"	13, 21	100 - 700µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 2013	8", 12"	21, 37	100 - 750µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp

高阻抗率

型號	晶圓直徑	傳感器數	厚度范圍	精度	分辨率	測量指標
MX 203-4-37-Q	2", 3", 4"	21, 37	300 - 800µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV
MX 203-6-33-Q	3", 4", 5", 6"	9, 13, 21, 33	300 - 800µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV

太陽能領域

型號	可容納晶圓尺寸	傳感器數	厚度范圍	精度	分辨率	測量指標
MX 203-6-41-q	100x100, 125x125, 156x156	21, 33, 41	160 - 700µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-25-q	125x125, 156x156	17, 25	150 - 600µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-49-q	125x125, 156x156	25, 49	100 - 600µm	1µm	0.1µm	厚度,TTV,BOW, Warp