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    孚光精儀(中國)有限公司


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    微探針臺系統(tǒng)

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    參  考  價面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號FPIMI-Micro

    品       牌

    廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

    所  在  地

    聯(lián)系方式:陳小姐查看聯(lián)系方式

    更新時間:2021-08-16 14:21:18瀏覽次數(shù):160次

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    經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

    商鋪產(chǎn)品:1482條

    所在地區(qū):

    聯(lián)系人:陳小姐 (銷售)

    產(chǎn)品簡介

    微探針臺系統(tǒng)microprobesystem可植入顯微鏡中,把顯微鏡改造成探針臺系統(tǒng),實現(xiàn)微操作和微測量功能

    詳細介紹

    微探針臺系統(tǒng)micro probe system可植入顯微鏡中,把顯微鏡改造成探針臺系統(tǒng),實現(xiàn)微操作和微測量功能。
    微探針臺系統(tǒng)能夠把現(xiàn)有光學顯微鏡升級成高精度和高穩(wěn)定性的壓電微操縱儀器,非常適合緊湊空間和較短工作距離的顯微鏡使用。適合如下種類的顯微鏡:
    正置顯微鏡和倒置顯微鏡
    探針臺
    半導體檢測儀器
    原子力顯微鏡
    手套箱和各種環(huán)境箱

    這款微探針臺系統(tǒng)非常適合較小的半導體器件的測試,可配備4個微操縱器模塊,可用于電控放大倍數(shù)的顯微鏡和XY樣品臺。
    這款微探針臺系統(tǒng)可以根據(jù)應用要求進行晶圓測試配置,滿足亞微米尺度電學性能測試需要。我們可為您提供XYZ晶圓加載卡盤,提供制冷和加熱功能等集成方案。
    微探針臺系統(tǒng)典型應用
    電學微探針:測量半導體器件或晶圓的電學性能
    材料測試:測試新材料的電學性能
    微操縱:對微小器件進行微操作微操縱
    微探針臺系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
    顯微鏡部分
    光學分辨率:約1.1um
    放大倍數(shù):2.8X~35.5X(物鏡10X)
    工作距離:33.5mm
    照明光源:同軸照明LED,光強可調(diào)
    相機:1920x1200像素,USB3.0接口
    焦距可調(diào)
    樣品臺規(guī)格:手動XY位移臺,行程10mm x 10mm, 分辨率0.5mm
    樣品尺寸:25.4mm 直徑
    電學探針規(guī)格:
    接口:4個BNC接口
    電壓范圍:+/-100V
    電流范圍:1pA~100mA
    電阻:約為3.5V
    探針臺模塊規(guī)格
    自由度:4個獨立的自由度X,Y,Z,Qz
    速度:2.5mm/s(XY), 150mrad/s(Z)
    運動范圍: Stepping模式:20x20mm(XY), +/-180度(Qz), 42度(Z)
    定位分辨率:Stepping模式下:50nm(X,Y), 120nm(Z)
    探針規(guī)格:0.02'' (0.51mm) shank直徑,針尖半徑5nm~10um

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