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高溫探針臺

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這款高溫探針臺是為高溫環(huán)境器件測試或真空環(huán)境或氣體環(huán)境器件探針臺分析測試而設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

這款高溫探針臺是為高溫環(huán)境器件測試或真空環(huán)境或氣體環(huán)境器件探針臺分析測試而設(shè)計(jì)。手動(dòng)高溫探針臺可測試50mm x 50mm的晶圓樣品，電控或半自動(dòng)高溫探針臺可測試100mm或更大尺寸晶圓樣品。
高溫探針臺在真空環(huán)境下可測量溫度環(huán)境高達(dá)700攝氏度,在非真空環(huán)境下可測650攝氏度。
高溫探針臺特點(diǎn)
具有手動(dòng)，半自動(dòng)或電控探針臺配置方案
探針臂可配備額外手動(dòng)微操作器，方便微納操作
可配備空氣或液氮制冷的熱晶圓夾盤
標(biāo)配7:1X放大透鏡管，分辨率可達(dá)4微米
可選配12.5:1或16:1X放大透鏡管
有效振動(dòng)隔離
快速制冷和加熱選項(xiàng)

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