無氦低溫探針臺CPS-CF是為極低溫探針測試設計的閉循環低溫探針臺系統,適合低溫下對器件和電路進行探針測試。
無氦低溫探針臺CPS-CF內置隔振、智能熱管理和熱膨脹補償機制,使該探針臺具有廣泛的應用能力，從納米電子學（石墨烯研究、分子電子學等）到太空電子學都可使用。
該無氦低溫探針臺CPS-CF采用閉式循環制冷器和專有的熱管理系統便宜快捷的操作。內置隔振器可將振動降至行業標準水平。超穩定的微操作臺保證了精確和可重復的接觸的設備探頭裝置功能。廣泛選擇的探針和晶圓卡盤滿足從超精密到射頻測量的諸多應用。
無氦低溫探針臺CPS-CF特點
性價比高，穩定可靠，使用方便。
低溫晶圓尺寸測試和低溫半導體測試。
溫度范圍從4K到480K（0.1K或更高精度）。如果配備不同的CCR，則可提供不同的范圍。
閉式循環制冷器，無制冷劑運行，經濟高效。
適合經營直徑達1英寸、2英寸、4英寸、6英寸或8英寸晶圓的低溫設備特性（取決于型號）。
直流到67GHz以上的測量采用單CCR解決方案，110GHz以上的測試采用雙CCR解決方案。
4個微操作探針臂（可選配置中最多8個），具有高度精確的XYZ和可選的θ (用于RF和楔形直流探頭）調整。
熱錨定探針頭。
可選的一級冷卻輻射快門和一級冷卻藍寶石視窗。
溫控輻射屏蔽
清晰的頂部視窗（可選擇高純度石英）。
高頻振動阻尼
無氦低溫探針臺CPS-CF可選項
樣品尺寸：不超過25mm、50mm、100mm、150mm或200mm。
無制冷劑閉式循環制冷器，包括冷頭、壓縮機、冷卻器和所需的氦軟管。
溫度范圍：標準10K至400K，可選4.2K至480K。
溫度精度：0.1K或更高。
熱錨定探針臂和輻射屏蔽。
溫控樣品卡盤。
卡盤和探針臂的溫度監控。輻射屏蔽和冷凍頭的溫度監測是可選的。
真空基準壓力（當CCR關閉時）1.0x10-5托標準，可選擇降至10-6托以下（當CCR打開時，可實現壓力降至10-8托以下）。也提供超高壓版本。
窗口材料：熔融石英，定制材料和涂層可供選擇。
顯微鏡：有多種選擇。
相機：100萬到1000萬像素的數碼相機。用于圖像和視頻捕獲的軟件，以及相機附帶的尺寸測量功能。
