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    孚光精儀(中國(guó))有限公司


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    聚合物薄膜測(cè)厚儀價(jià)格

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    廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

    所  在  地上海市

    聯(lián)系方式:陳小姐查看聯(lián)系方式

    更新時(shí)間:2019-08-21 16:34:43瀏覽次數(shù):205次

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    聯(lián)系人:陳小姐 (銷售)

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    聚合物薄膜測(cè)厚儀價(jià)格
    用于測(cè)量polymer films(聚合物薄膜、有機(jī)薄膜、高分子薄膜)和 photoresist films (光致抗蝕劑薄膜, 光刻膠膜,光刻薄膜,光阻膜)在加熱或制冷情況下薄膜厚度和光學(xué)常量(n, k)的變化。為了這種特色的測(cè)量,我們特意研發(fā)了專業(yè)的軟件和算法,使得該聚合物薄膜測(cè)厚儀能夠給出薄膜的物理化學(xué)指標(biāo)。tempe

    詳細(xì)介紹

    聚合物薄膜測(cè)厚儀價(jià)格用于測(cè)量polymer  films(聚合物薄膜、有機(jī)薄膜、高分子薄膜)和 photoresist films (光致抗蝕劑薄膜, 光刻膠膜,光刻薄膜,光阻膜)在加熱或制冷情況下薄膜厚度和光學(xué)常量(n, k)的變化。為了這種特色的測(cè)量,我們特意研發(fā)了專業(yè)的軟件和算法,使得該聚合物薄膜測(cè)厚儀能夠給出薄膜的物理化學(xué)指標(biāo):例如玻璃化轉(zhuǎn)變溫度 glass transition temperature (Tg), ,熱分解溫度thermal degradation temperature (Td) ,薄膜的厚度測(cè)量范圍也高達(dá)10nm--100微米。

    聚合物薄膜測(cè)厚儀價(jià)格這套聚合物薄膜測(cè)厚儀,薄膜熱特性測(cè)厚儀在傳統(tǒng)薄膜測(cè)厚儀的基礎(chǔ)上添加了加熱/制冷的溫度控制單元,使用白光反射光譜技術(shù)(WLRS),實(shí)時(shí)測(cè)量薄膜厚度和折射率,并通過專業(yè)軟件記錄下這些數(shù)據(jù)。
    這套聚合物薄膜測(cè)厚儀,薄膜熱特性測(cè)厚儀能夠快速實(shí)時(shí)給出薄膜厚度和薄膜光學(xué)常量等物理化學(xué)性能數(shù)據(jù),并且能夠控制薄膜加熱和制冷的速度,是聚合物薄膜特性深入研究的理想工具。干膜測(cè)厚儀所使用的軟件也適合薄膜的其他熱性能研究,例如:薄膜的熱消融/熱剝蝕thermal ablation研究,薄膜光學(xué)性質(zhì)隨溫度的變化,薄膜預(yù)烘烤Post Apply Bake,光刻過程后烘烤 Post Exposure Bake對(duì)薄膜厚度的損失等諸多研究。
    對(duì)于薄膜的厚度測(cè)量,這款聚合物薄膜測(cè)厚儀,薄膜熱特性測(cè)厚儀要求薄膜襯底是透明的,背面是不反射的。它能夠處理4層薄膜的膜堆layer stacks,給出兩個(gè)參數(shù):例如兩個(gè)薄膜的厚度或一個(gè)薄膜的厚度和光學(xué)常量。
    這套聚合物薄膜測(cè)厚儀,薄膜熱特性測(cè)厚儀已經(jīng)成功應(yīng)用于測(cè)量不同聚合物薄膜的熱性能,光刻薄膜的熱處理影響分析,Si晶圓wafer上的光致抗蝕劑薄膜分析等。 

    關(guān)鍵詞:測(cè)厚儀 控制單元
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