SF6雖無(wú)色五毒，但是大量泄露會(huì)使人呼吸困難甚至窒息，因此在工業(yè)作業(yè)的過(guò)程中對(duì)
SF6泄露監(jiān)測(cè)就顯得尤為必要。在傳統(tǒng)的技術(shù)應(yīng)用中對(duì)SF6氣體的監(jiān)測(cè)方式包括氣壓表測(cè)量法和密度繼電器測(cè)量法，以及半導(dǎo)體測(cè)量法等，并且超聲波測(cè)量以及負(fù)電暈放電測(cè)量也是常見的SF6泄露監(jiān)測(cè)方法。
其中氣壓表測(cè)量主要是對(duì)氣體壓力打開測(cè)度，然后完成SF6是否存在蛻變問(wèn)題完成判別。可是考慮到在溫度改變劇烈的環(huán)境中，SF6氣體壓力會(huì)隨之有所改變，因而此種方法只有在環(huán)境溫度改變不明顯的時(shí)候才干打開有效使用，而且無(wú)法完成相關(guān)數(shù)據(jù)的自動(dòng)化獲取，其測(cè)定結(jié)果通常僅供參考。
而關(guān)于密度繼電器丈量而言，其機(jī)械特點(diǎn)本身決定了其抗震才能等方面均不盡善盡美，因而無(wú)法完成氣體微量走漏的測(cè)定。
半導(dǎo)體傳感器則以二氧化錫半導(dǎo)體作為電極，依據(jù)其強(qiáng)親氟化物的特征來(lái)完成關(guān)于空氣中氣體含量的測(cè)定。此種測(cè)定方法能夠完成較高精度，而且在本錢方面也占據(jù)極大優(yōu)勢(shì)，可是壽數(shù)相對(duì)有限，跟著壽數(shù)的延伸其誤報(bào)率有了明顯增高。
采用超聲波測(cè)速法打開關(guān)于SF6泄露監(jiān)測(cè)的測(cè)量，是根據(jù)超聲波傳播速度隨氣體摩爾質(zhì)量添加而改變這一特性。SF6氣體的摩爾質(zhì)量是空氣的五倍，因而當(dāng)其發(fā)生走漏的時(shí)候，會(huì)導(dǎo)致周圍環(huán)境介質(zhì)摩爾質(zhì)量的明顯上升，然后完成關(guān)于其密封狀況的判別。此種工作方法雖穩(wěn)定且精度較高，因而難以完成大面積使用。
負(fù)電暈放電檢測(cè)設(shè)備通常置于電站開關(guān)柜內(nèi)，是當(dāng)前比較常見的SF6泄露監(jiān)測(cè)設(shè)備，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性高的特征，且成本控制相對(duì)較簡(jiǎn)單，十分合適大范圍在線監(jiān)測(cè)。可是此種技術(shù)相對(duì)而言壽數(shù)較短，簡(jiǎn)單造成誤報(bào)警問(wèn)題的發(fā)生，可信度已經(jīng)成為阻礙其進(jìn)一步深入使用的主要因素。
