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微量氣體質量流量計
微量氣體質量流量計是采用世界的微機電系統流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）。
微量氣體質量流量計流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍zui大到5slpm;適用于粒子計數器和各類分析儀器。
微量氣體質量流量計的產品特點：
專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計;
支持多種連接方式，易于安裝與使用;
傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量;
在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高;
輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓;
零點穩定度高;
全量程高穩定性、高度和優良的重復性;
低功耗、低壓損;
微量氣體質量流量計響應速度快;
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