1、測量精度：波長色散類X熒光光譜儀有其固有的高分辨率和高精度，能提供*的穩(wěn)定性和優(yōu)良的分析精度，但對樣品的形狀和制備方法有所要求；能量色散X熒光光譜儀如果經(jīng)過精心的設(shè)計和方法優(yōu)化，也可提供行業(yè)接受的測量結(jié)果，它的一個優(yōu)點是可以在不對樣品進行處理的情況下給出可供參考的數(shù)據(jù)。目前波長色散類儀器也已經(jīng)國產(chǎn)化，同類儀器相比較，進口儀器在精度上并不占優(yōu)勢，但價格卻昂貴很多。
2、測量時間：由于波長色散配備較大功率的X光管，熒光強度高；因此，波長色散X熒光光譜儀占用較短的測量時間，便能達到較高的測量精度。
3、被測量樣品的要求：由于技術(shù)特點的差異，波長色散X熒光光譜儀需要對被測量樣品進行簡單的處理；對固體樣品的一般處理方法是將被測量樣品表面打磨光滑，對粉末和其他樣品可以采用磨細后進行粉末壓片法處理，相應(yīng)的設(shè)備市場上很容易找到。能量色散型X熒光光譜儀大的優(yōu)勢在于：可以對樣品不作特別復雜的處理而直接進行測量，對樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產(chǎn)的過程控制中；但需要強調(diào)指出的是：從熒光理論上講，被測量樣品的預先處理是必須的，對于能量色散儀器來說，我們可以采取一些技術(shù)手段進行校正來滿足實際生產(chǎn)控制的需要，但即使采用了技術(shù)校正的手段，對不規(guī)則樣品的直接測量也是以犧牲測量準確度作為代價的。
4、好的應(yīng)用范圍：由于波長色散和能量色散類型X熒光光譜儀各自的技術(shù)特點，兩種類型儀器所側(cè)重的應(yīng)用方案也不盡相同；波長色散X熒光光譜儀具有較高的測量精度，但同時需要對被測量樣品進行簡單處理，更適用于進廠原材料、半成品、成品的精確檢測和質(zhì)量控制；能量色散X熒光光譜儀雖然測量精度稍差，但具有快速、直接測量各種形狀樣品的優(yōu)點，因此可直接在生產(chǎn)線上用于各種部件、電子元器件的檢測。
5、能量分辨率：能量分辨率是X熒光光譜儀儀器的主要指標，分辨率數(shù)值越小，分辨率越高，儀器性能越好。
6、熒光強度：對于X熒光光譜儀來說，各元素含量與該元素的熒光強度成正比關(guān)系；熒光強度越高，則統(tǒng)計誤差越小，測量的準確度越高，儀器性能越好。
7、使用壽命：波長色散類型X熒光光譜儀的使用壽命一般為10年以上；能量色散X熒光光譜儀的使用壽命主要取決于X光管和探測器使用壽命，而使用壽命隨工作條件的不同有一定的隨機性。
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