Quantus LP100 氣體分析儀 

實時終點檢測和檢漏

INFICON Quantus LP100 氣體分析儀可在關(guān)鍵過程環(huán)境中進行實時檢漏和終點檢測。許多過程對泄漏都很敏感，或要求進行終點檢測。Quantus LP100 是一種氣體分析儀，專門用于實時應(yīng)對敏感過程環(huán)境中的細微變化，以*大限度地減少報廢，提高產(chǎn)出。

功能

• 方便的現(xiàn)場可更換等離子單元
• 使用標準 KF25 連接方便地安裝
• 更低的維護成本
• 低至 ppm 級的出色檢測下限
• 工作范圍為 10 mTorr 至 1 Torr
• 長期可靠性：無需泵
• 低擁有成本
• 快速的 10 Hz 采樣頻率
• 精致小巧（高 x 寬 x 長）87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
• 有經(jīng)驗的現(xiàn)場培訓(xùn) INFICON 工程師提供支持