中科艾爾(北京)科技有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號Na-1H
品 牌
廠商性質生產(chǎn)商
所 在 地北京市
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更新時間:2019-04-12 09:47:00瀏覽次數(shù):3603次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 加工定制 | 是 |
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適用領域 | 石油,化工,電力,其他 |
Nα-1H氣體減壓器專為超高純度氣體,半導體用(毒,腐)氣體設計,滿足超大規(guī)模集成電路的使用要求。產(chǎn)品依據(jù)嚴格的標準設計、清洗、生產(chǎn)、測試、包裝。
Nα-1H氣體減壓器專為超高純度氣體,半導體用(毒,腐)氣體設計,滿足超大規(guī)模集成電路的使用要求。產(chǎn)品依據(jù)嚴格的標準設計、清洗、生產(chǎn)、測試、包裝。
工作條件:
進口壓力 | 25MPa |
出口壓力 | 0~0.2MPa,0~0.4MPa,0~0.6MPa |
原壓變動 | 每0.7MPa壓力變化0.005MPa |
溫度 | -40~+60℃ |
內漏率 | ≤1×10-10Pa.M3/Sec.He |
外漏率 | ≤1×10-10Pa.M3/Sec.He |
內表面粗糙度 | Ra≤0.1μm |
產(chǎn)品特點:
適用于VMB & VMP
提供Hastelloy® 內部件選項
內表面電解拋光處理Ra≤0.1μm
對于CL2、N2O和NH3請選擇*配置
每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質譜泄漏測試和顆粒物檢測
無內部彈簧,內部死體積小,大大減小了顆粒物的存留
主要部件材料:
介質 | CL2 | N2O | NH3 | Standard |
體接觸部分 Wetted parts | ||||
閥體 Body | SUS316L(VIM+VAR) | |||
膜片 Diaphragm | SUS316L(VIM+VAR)/ Hastelloy® C-22 | |||
閥針 Poppet | SUS316L(VIM+VAR) | |||
密封墊 Seal | PFA | Vespel® | PTFE | PCTFE |
非氣體部接觸部分 Non-wetted parts | ||||
調節(jié)手柄 Handle | ABS | |||
閥蓋 Cap | SUS316L | |||
彈簧 Spring | SWP-A |
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