因為三坐標測量儀在對空氣進行壓縮的時候，也會將空氣里面的一些比較小的水分子和油分子進行壓縮成水或者是油，這樣的話，三坐標測量儀自己在進行工作的時候也是會需要一定的潤滑油對相關的機構進行潤滑，當然也會使得部分的潤滑油進入到壓縮空氣里面。如果在進行工作的時候，三坐標測量儀上附著著水或者是油的話，那么這個時候是會導致導軌的直線度發生一定的變化。如果三坐標測量儀不工作了，那么這個時候，管道中的油滴就有可能是會被堵塞，這個時候氣浮塊也不能夠正常的進行起伏，氣浮塊與導軌會很容易產生摩擦，也會損壞三坐標測量儀，嚴重也會使得器官出現老化等現象。
三坐標測量儀是其最主要的基準，三坐標進行改造的時候，主要就是需要對其進行相應的保養，這樣才能夠保證其正常的進行工作。三坐標測量儀在進行使用的時候，跟其他的一些測針、測頭使用肯定是不一樣的。
每天進行使用三坐標測量儀之前一定要做好相應的檢查，主要是管道和過濾器，一般在三個月的時候，就需要對三坐標測量儀進行清洗，如果空氣質量比較差的地方，這個時候，三坐標測量儀的濾芯在過濾油和誰的時候也會很容易被堵塞，要是時間比較長的話，是會導致三坐標測量儀工作氣壓降低的，會影響其正常的工作，所以濾芯一定的清洗干凈才行。還有就是需要每天都要擦拭油污和灰塵，這樣的話，才能夠很好的保證三坐標測量儀氣浮導軌進行正常工作。
