干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感器技術

穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，

檢漏低達 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設計用于滿足半導體應用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應。

通過結合較高氦氣抽氣能力和高進氣口壓力的真空結構，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。專利軟件 I-CAL（智能泄漏率計算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱，因為 UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?/p>

使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號	明細
550-100A	ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A	ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

類型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣（真空模式）可檢漏率	mbar?L/s	<5E-12
氦氣（真空模式）可檢漏率	mbar?L/s	<5E-12
氦氣（吸槍模式）可檢漏率	mbar?L/s	8E-8
GROSS 模式進氣口壓力	mbar	15
FINE 模式進氣口壓力	mbar	2
ULTRA 模式進氣口壓力	mbar	0.4
抽真空期間的抽氣能力	m3/h	25 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦氣抽氣能力	L/s	7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	2.5
可檢測質(zhì)量數(shù)		2,3,4 amu
質(zhì)譜儀扇形場		180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層		2
內(nèi)置校準漏孔	mbar?L/s	e-7
測試端口	DN 25 KF	1
可調(diào)觸發(fā)器		2
接口		RS 232
圖形記錄器輸出	V	2 x10
輸入/輸出		PLC compatible
允許的環(huán)境溫度（操作過程中）	°C	+10.....+40
保護類型		IP 20
重量	kglb.	110
尺寸（長x寬x高）	mmin.	1068x525x850
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
功耗	VA	1100