BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計

INFICON
貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG402-S型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。傳感元件自帶的在軌校準數據在更換傳感器時確保了高再現性。

益處

測量范圍非常廣，從 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）
10^-8 … 10^-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
皮拉尼聯鎖保護單絲，防止過早燒毀
兩根使用壽命長的氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
易于更換的傳感元件與板載校準數據確保高再現性
RoHS 合規

典型應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業鍍膜
低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

新聞

現有全新EtherCAT數字接口供應！

零件號

BPG402-S
零件號	明細
353-570	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572	BPG402-S 真空計
353-573	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574	BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575	BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576	BPG402-SD 型真空計
353-577	BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
353-578	BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-590	BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591	BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R

規格

類型		BPG402-S
測量范圍（空氣、O₂、CO、N₂）	mbarTorr	5×10^-10 … 1000
精度
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	±15
可重復性
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	5
除氣 (1)
p < 7.2 × 10^-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓力，	bar (absolute)	2
溫度
運行（環境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤，無電子設備 BPG402-S	°C	80
無電子設備，在法蘭處烘烤 BPG402-SL	°C	150
電源電壓	V (dc)A (dc)	+20 … +28
輸出信號模擬
輸出信號	V	0 … +10
測量范圍	V	+0.774 … +10
電壓與壓強	volts per decade	0.75
錯誤信號	V	0.1 / 0.3 / 0.5
最小負載電阻	k?	10
設定點繼電器
設定點數量		1
范圍	mbar	1×10^-9 … 100
繼電器觸點		n.o., potential free
滯后	% of reading	10
觸點額定值	V (dc)A (dc)	≤30
數字功能		degas
接口（數字）(2)		RS232C
發射控制		automatic / manual via interface
單絲		two Yt₂O₃ coated Ir
單絲狀態/繼電器		LED / relay
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	450 / 710
保護等級		IP30
Profibus DP
波特率	kBaudMbaud	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 100
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值	V (dc)A (dc)	≤30
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
CDG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
協議		DeviceNet™, group 2 slave only
數據率開關	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技術規格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 100
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值	V (dc)A (dc)	≤30
DeviceNet™ 電源電壓	V (dc)A (dc)	+11 … +25
真空計電源電壓	V (dc)A (dc)	+20 … +28
DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
以太網
以太網協議		protocol specialized for EtherCAT
通訊標準		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節點地址		Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太網數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
過程數據		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE)		SDO requests, responses and information
以太網連接件		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度	m (ft.)	≤100 (330)