SKY? CDG200D 1 ... 1000 托 / 毫巴

INFICON SKY CDG200D 高溫壓力計是實現精確總壓測量與控制的理想之選。CDG200D
真空計溫度控制在 200 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 乇至 1000
乇滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10伏、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON
電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。INFICON CDG
品質，成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

益處

擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
診斷端口用于快速維修和維護
兩年保修服務，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩定性和可重復性，即使是的等離子應用，都無需*執行重新校準
合規性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用

用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
化學和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

新聞

配備 EtherCAT 數字接口現在可用！

零件號

規格

類型		1000 ... 500 Torr / mbar	200 ... 1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.4	0.4
溫度效應
零點	percent FS/°C	0.005	0.005
滿量程	% of reading / °C	0.02	0.02
壓力，大	kPa (absolute)	400	260
分辨率	percent FS	0.003	0.003
低讀數	percent FS	0.01	0.01
建議的低讀數	percent FS	0.05	0.05
建議的低控制壓力	percent FS	0.5	0.5
溫度
運行（室內環境）(4)	°C	+10 … +50
在法蘭處烘烤	°C	≤200	≤200
貯存	°C	–40 … +65	–40 … +65
電源電壓		+21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)	+21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時	W	≤25	≤25
運行溫度	W	≤18	≤18
輸出信號（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10
反應時間 (2)	ms	30	30
保護等級		IP 40	IP 40
標準
CE 合規		EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規		SEMI S2	SEMI S2
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male
設定點
設定點數量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
繼電器觸點	V (dc)A (dc)	≤30	≤30
滯后	percent FS	1	1
診斷端口
協議		RS232-C	RS232-C
讀數		pressure, status, ID	pressure, status, ID
設置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽³⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽³⁾)
內部容積
內部容積 1/2'' 管	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 ISO KF	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 CF-R	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 8 VCR?	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管	g	837	837
重量 DN 16 ISO KF	g	852	852
重量 DN 16 CF-R	g	875	875
重量 8 VCR?	g	897	897

EtherCAT
協議 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
通訊標準		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"	ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節點地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
數字功能設置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
過程數據		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
(CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)

DeviceNet?
協議		DeviceNet?, group 2 slave only	DeviceNet?, group 2 slave only
數據率	kBaud	125, 250, 500 by switch or network programmable	125, 250, 500 by switch or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)	100 (330)
MAC ID		address 00 - 63 by switch or network programmable	address 00 - 63 by switch or network programmable
數字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
數字功能設置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
技術規格		DeviceNet? "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)	DeviceNet? "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
設備類型		''VG'' vacuum gauge	''VG'' vacuum gauge
I / O 從屬傳訊		polling only	polling only
真空計 D 型連接器的電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W	+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
為微型連接器上的 DeviceNet 收發器提供電壓		24 V nom / <2 W (11 … 25 V)	24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet? 連接器		microstyle, 5 pin, male	microstyle, 5 pin, male
CDG（模擬輸出、CDG 電源電壓、設定點）連接器		D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male

Profibus DP
波特率	kBaudMbaud	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		address 00 - 125 by switch or network programmable	address 00 - 125 by switch or network programmable
數字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
數字功能設置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 連接器		D-sub, 9 pin, female	D-sub, 9 pin, female
CDG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male