SKY? CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴過程壓力真空計

INFICON SKY CDG025D
電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計，在苛刻的生產環境中具有穩定的性能。 *的數字電子設備提高真空計的性能和易于使用的特點，如一鍵調零功能和設定點調整。
抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩定性和預計數百萬次壓強周期（包括大氣沖擊）的長使用壽命。 *的傳感器屏蔽（申請中）保護真空計免受過程污染。
堅固耐用的機械設計和數字電子設備改善了 EMC 兼容性、*穩定性和溫度補償。 CDG025D
為電源接通后的快速穩定與暴露大氣壓后的快速恢復等特性設定了新標準。

益處

全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
電源接通后快速穩定
暴露于大氣壓后快速恢復
防腐陶瓷傳感器
的*信號穩定性
溫度補償
傳感器防污染雙層保護
一鍵調零功能
電源范圍廣
2 個設定點
RS232 接口
符合潔凈室標準

典型應用

用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產設備
數據存儲和顯示制造設備
工業真空設備
常規高精度壓力測量

規格

類型		1000 Torr / 1100 mbar	500 ... 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
溫度效應
零點	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
滿量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
壓力，大	kPa (absolute)	400	260	260	130	130
反應時間 (2)	ms	30	30	30	130	130 / 30 ⁽³⁾
低讀數	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
建議的低讀數	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
建議的低控制壓力	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
溫度
運行（環境）	°C	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50
在法蘭處烘烤 (4)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
貯存	°C	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65
電源電壓	V (dc)	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30
功耗	W	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
輸出信號（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10
保護等級		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
標準
CE 合規		EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male
設定點
設定點數量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
繼電器觸點	V (dc)A (dc)	30	30	30	30	30
滯后	percent FS	1	1	1	1	1
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)
內部容積
內部容積 1/2'' 管	cm3 (in.3)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
內部容積 DN 16 ISO KF	cm3 (in.3)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
內部容積 DN 16 CF-R	cm3 (in.3)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
內部容積 8 VCR?	cm3 (in.3)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
重量
重量 1/2'' 管	g	310	310	310	310	310
重量 DN 16 ISO KF	g	330	330	330	330	330
重量 DN 16 CF-R	g	350	350	350	350	350
重量 8 VCR?	g	370	370	370	370	370