BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型電容式膜片真空計將三大不同技術的優(yōu)勢融合在一個單個、緊湊和經濟的可以測量
5×10^-10 到 1500 毫巴（3.75×10^-10 到 1125 托）的過程壓力和基準壓力的工具包里。
BCG450型電容式膜片真空計的設計旨在替代三個傳感器（熱離子、熱量增強型皮拉尼和真空開關），從而節(jié)省成本和寶貴的工具空間。

益處

BCG450 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測量安裝與設置的復雜性
10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制，能夠對任何氣體混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒毀
高真空皮拉尼自動調節(jié)，減少操作員干預
大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
易于更換的傳感元件與板載校準數據確保再現性
備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
RoHS 合規(guī)

典型應用

半導體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空和超高真空范圍內系統(tǒng)的一般真空測量和控制

新聞

現有全新EtherCAT數字接口供應！

零件號

BCG450
零件號	明細
353-550	BCG450 規(guī)管
353-561	BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle
353-551	BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-552	BCG450 規(guī)管
353-553	BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554	BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556	BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557	BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-558	BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-592	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R

規(guī)格

類型		BCG450
測量范圍	mbarTorr	5×10^-10 … 1500
精度
10^-8 … 50 毫巴	% of reading	±15
50 … 950 毫巴	% of reading	±5
950 … 1050 毫巴	% of reading	±2.5
可重復性
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	5
熱離子發(fā)射	mbar	2×10^-2 (high)
（可選高/低，通過 RS232 / 現場總線）	mbar	8×10^-3 (low)
除氣 (1)
p < 7.2 × 10^-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓力，大	bar (absolute)	5
溫度
運行（環(huán)境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤	°C	80
移除烘烤電子設備	°C	150
電源電壓	V (dc)A (dc)	20 … 28
輸出信號模擬
輸出信號	V	0 … 10.3
測量范圍輸出	V	0.774 … 10.3
電壓與壓強之間的關系	volts per decade	0.75
錯誤信號	V	0.3 / 0.5
小負載	k?	10
接口（數字）(2)		RS232C
連接器		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度，大 (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保護等級		IP30
DeviceNet?
協議		DeviceNet?, group 2 slave only
數據率開關	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網絡規(guī)模		up to 64 nodes per segment
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術規(guī)格		DeviceNet? "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 1400
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值	V (dc)A (dc)	60
設定點繼電器：連接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet? 電源電壓	V (dc)A (dc)	11 … 25
真空計電源電壓	V (dc)A (dc)	20 … 28
DeviceNet? 連接器		Microstyle, 5-pin
BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率	kBaudMbaud	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 1400
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值	V (dc)A (dc)	60
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
以太網
以太網協議		protocol specialized for EtherCAT
通訊標準		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節(jié)點地址		Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太網數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
過程數據		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
(CoE)		SDO requests, responses and information
以太網連接件		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度	m (ft.)	≤100 (330)