氣體質量流量控制器適用于低壓損應用環境、泄漏測試，也能縮短50scccm或更低流速條件下的氣動響應時間。能快速、精準地確定穩定的流量，無須溫壓補償，直接測出流體的質量流量。
氣體質量流量控制器既可進行氣體流量計量工作，也可用于過程控制領域，特點是：沒有可動部件；壓力損失小；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單，操作方便。
在使用氣體質量流量控制器進行作業時，有幾個方面我們應該要注意的：
當儀表的工作條件變換時，對儀表的零位應重新加以調整。同時，儀表的導管必須水平安裝，要用水平儀校準。否則將增大工作條件變化對零位漂移的影響。機架更不可有震動或搖擺等情況故不宜在船舶上使用。
流量范圍內的大量測試數據進行關聯運算，用小二乘法原理求直線回歸方程，其相關系數λ值均在0.999～0.9999范圍內，證明儀表具有良好的線性度。但線性度與量程大小有著流量越大，非線性越嚴重，所以一般把量程限定在0～4標升/時以內，以確保良好的線性度。為了能測量大流量而又保證線性度，質量流量控制器可采用分流原理來擴展儀表的量程。如采取旁路管、文丘利管、孔板等配合使用，量程可分別擴大到每小時幾十、幾百、幾千標升，直至幾萬標立方。
雖然真實氣體的比熱隨壓力的不同而有變化甚至某些氣體的變動幅度還比較大，但質量流量控制器的測量精度仍能保持桂一定范圍內。
導管材質的選擇，除了考慮耐腐蝕性以外，以選用導熱性能較好的材料為佳。
由于質量流量控制器這類儀表必須在氣體比熱相對穩定的情況下才能進行正常工作所以凡是氣體成分不穩定、氣體*帶霧沫以及工作條件逼近氣體的液化臨界區等情況由于比熱值很不穩定，均不宜使用這種儀表。
