高溫是濕度傳感器的一種，基本形式都為運用濕敏資料對水分子的吸附才能或對水分子產生物理效應的辦法丈量濕度。有關濕度丈量，在16世紀就有記載了。許多古老的丈量辦法，如羅卓尼克、密析爾、維薩拉等的干濕球溫度計、毛發濕度計和露點計等至今仍被廣選用。現代的工業技術請求精度高、高可靠和接連地丈量濕度，因此陸續呈現了品種繁復的濕敏元件。

高溫濕度傳感器丈量辦法：

多見的濕度丈量辦法有：動態法(雙壓法、雙溫法、分流法)，靜態法(飽滿鹽法、硫酸法)，露點法，干濕球法和電子式傳感器法。

① 雙壓法、雙溫法是根據熱力學p、v、t平衡原理，平衡時刻較長，分流法是根據肯/定濕氣和肯/定干空氣的準確混合。因為選用了現代測控手段，這些設備能夠做得很精，卻因設備雜亂，貴重，運作費時費工，主要作為規范計量之用，其丈量精度可達±2%rh以上。

② 靜態法中的飽滿鹽法，是濕度丈量中多見的辦法，簡略容易操作。但是飽滿鹽法對液、氣兩相的平衡請求卻很嚴，對環境溫度的安穩請求還是比較高。用起來請求等很長時刻去平衡，低濕點請求更長。格外在室內濕度和瓶內濕度差值較大時，每次敞開都需求平衡6~8小時。

③ 露點法是丈量濕空氣到達飽滿時的溫度，是熱力學的直接結果，準確度高，丈量范圍寬。計量用的精的露點儀準確度可達±0.2℃乃至高。但用現代光-電原理的冷鏡式露點儀價格貴重，常和規范濕度發生器配套運用。

④ 干濕球法，這是18世紀就發明的測濕辦法。歷史悠久，運用普及。干濕球法是一種直接辦法，它用干濕球方程換算，且能算出濕度值，而此方程是有條件的：即在濕球鄰近的風速需到達2.5m/s以上。普通用的干濕球溫度計將此條件簡化了，所以其準確度需5~7%rh,干濕球也不歸于靜態法，不要簡略地以為只進步兩支溫度計的丈量精度就等于進步了濕度計的丈量精度。

⑤電子式濕度傳感器法

電子式濕度傳感器產品及濕度丈量都歸結于90年代鼓起的職業, 這些年來，在濕度傳感器研制范疇上取得了長足進步。濕敏傳感器正從簡略的濕敏元件向集成化、智能化、多參數檢查的方向迅速發展，為開發新型濕度測控體系提供了有利的條件，也將濕度丈量技術進步到新的一個水平。