優勢
• 新型的金屬密封結構形式。該密封結構形式具有密封可靠、裝配工藝簡單、耐腐蝕等優勢，廣泛適用于各類氣體流量的測量。
• 體積小、零漂小、抗*力強的傳感器。該傳感器采用上、下游對稱性結構設計，從而保證了傳感器的零漂小;傳感器內部設有保溫棉，極大程度降低了環境溫度對傳感器的影響，從而提高了傳感器的抗*力，確保了氣體流量檢測的精度。
• *的人工智能機器人表面拋光技術。CS330系列產品金屬表面粗糙度可達0.1RA，嚴格按照SEMI標準生產制造。
• CS330系列產品支持±8V~±16V雙電源或者+14V~+28V單電源供電;支持數字，模擬輸入輸出。
• CS330系列產品支持多種電氣接口，包括DB9、DB15、DeviceNet(側部、頂部);支持RS485，DeviceNet通訊方式。
技術參數
CS330C、D |
型號 | CS330C、D |
閥類型 | 常閉 | 無 |
流量規格(N2) | (100,200) SLM |
準確度 | ±1.0% S.P. (＞35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.) |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復精度 | ±0.2% F.S. |
響應時間 | ≤ 1 sec |
工作壓差范圍 | 100 ~ 300 KPa （50＜F≤100SLM）
200 ~ 300 KPa （100＜F≤200SLM） |
溫度系數 | 零點: ≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.1% F.S./℃ |
工作壓差 | 1 MPa |
耐壓 | 3 MPa (435pisg) |
漏率 | 5 x 10-12 Pa·m3/ sec He （5 x 10-11 atm.cc/sec He） |
密封材料 | 金屬 |
工作環境溫度 | （0～50）℃ |
輸入信號 | 數字: RS485或 DeviceNetTM
模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA | 無 |
輸出信號 | 數字:RS485或 DeviceNetTM
模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA |
零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 |
電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28VDC (單極) |
表面化學成分 | 常態 |
標準接頭形式 | VCR 1/2´´ |
電源接頭形式 | D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet 接頭 |
重量 | 2.6 Kg | 1.5 Kg |
