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CS100質量流量控制器&流量計控制閥

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更新時間：2022-11-29 09:23:20瀏覽次數：245次

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北京七星華創流量計有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：36條

所在地區：北京北京市

聯系人：王昭（市場總監）

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產品簡介

CS100產品是基于七星流量計CS系列產品技術平臺開發，在擁有恒功率傳感器技術，數字傳感器平衡技術，VCP線控制技術的基礎上，采用客戶定制化設計，客戶可根據需要選用符合自身需求的產品，同時其的客戶零點補唯功能(CGC)，能夠解決由于客戶地線連接導致的MFC精度不準問題，使產品更好的適應客戶環境。

詳細介紹

優勢

• CS100產品采用客戶定制化設計，
• 客戶可根據需要選用±15V雙電源或+24單電源供電;
• 金屬密封或橡膠密封;
• 產品尺寸可選用符合通用的SEMI標準的產品，也可選用緊縮型產品。

技術參數

CS100

型號

CS100A

CS100D

閥類型

常閉

無

常閉

無

流量規格(N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

準確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

≤ 1sec

工作壓差范圍

0.05～0.35MPa；流量規格≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10＜流量規格≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30＜流量規格≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa；流量規格≤10SLM
0.1～0.35MPa；10＜流量規格≤30SLM

＜0.02 MPa

溫度系數

零點: ≤±0.05% F.S/℃；調節時: ≤±0.1% F.S/℃

耐壓

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

漏率

1×10^-9 Pa·m³ / sec He（1×10^-8 atm·cc / sec He）

密封材料

氟橡膠

金屬密封

工作壓力

0.45MPa

工作環境溫度

（5～45）℃

輸入信號

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

無

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

無

輸出信號

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

模擬: (0～5)VDC

數字: RS485

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

電源接頭形式

D型9針
陽接頭；

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭；

O型3針
陽接頭

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭；

D型15針
陽接頭

D型9針陽接頭；

O型3針陽接頭

D型15針陽接頭

D型9針
陽接頭；

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭；

O型3針
陽接頭

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭；

D型15針
陽接頭

D型9針陽接頭；

O型3針陽接頭

D型15針陽接頭

供電電源

±15V

+24V

±15V

+24V

±15V

+24V

±15V

+24V

自動清零

支持

表面粗糙度

25μinch Ra

標準接頭形式

雙卡套 φ6；雙卡套φ3；雙卡套1/4´´；雙卡套1/8´´；

VCR1/4´´陽接頭；

φ6(內)x1軟管接頭;φ5(內)x1.5軟管接頭;φ4(內)x1軟管接頭

VCR1/4″陽接頭

重量

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

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關鍵詞：標準

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