青島益嘉元科貿有限公司
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10-9P的極限壓力(符合ISO標準的測試圓頂);通過惰性氣體增強泵模型（AX2型）將泵送性能提高一倍(與ULVAC的常規泵相比);在超高真空獲得高抽運速度;;在短時間內抽吸至超高真空;超高真空條件下的抽運特性(排放維持在超高真空狀態)。
濺射離子泵是一種用于制造超高真空的泵，用于許多分析器和加速器中。ULVAC的自動泵設計用于開發新的元件(acter元件)，改善超高和真空下的真空度，并優化磁場。
【特征】
10-9P的極限壓力(符合ISO標準的測試圓頂)
通過惰性增強泵模型（AX2型）將泵送性能提高一倍(與ULVAC的常規泵相比)
在超高真空獲得高抽運速度。
在短時間內抽吸至超高真空。
超高真空條件下的抽運特性(排放維持在超高真空狀態)
【應用】
加速器
電子顯微鏡
分析器
【規格】
排放速度至1x10-7 Pa (重復排放速度) | N2: 0.10m3/s(CX·AX) 0.08m3s(1x10)-7(Pa) |
最終壓力 | 10-9Pa order |
操作壓力 | -3Pa(建議值) 操作壓力：1×10-2(Pa) *(使用GST-07L控制器) |
體積 | 大約3.3 x 10-3m3 |
泵元件數 | CX2 cell(X1)，ax2 cell(X1) |
連接法蘭模型 | UFC 152 |
外加電壓 | DC+7.5kV |
標準烘焙溫度 | 250℃ |
重量 | 37kg 左右(帶加熱器) |
外型尺寸W×D×H | 155 x 340x340mm |
加熱器所需功率 | 單相200 V，320 W左右 |
濺射離子泵是一種用于制造超高真空的泵，用于許多分析器和加速器中。ULVAC的自動泵設計用于開發新的元件(acter元件)，改善超高和真空下的真空度，并優化磁場。
【特征】
10-9P的極限壓力(符合ISO標準的測試圓頂)
通過惰性增強泵模型（AX2型）將泵送性能提高一倍(與ULVAC的常規泵相比)
在超高真空獲得高抽運速度。
在短時間內抽吸至超高真空。
超高真空條件下的抽運特性(排放維持在超高真空狀態)
【應用】
加速器
電子顯微鏡
分析器
【規格】
排放速度至1x10-7 Pa (重復排放速度) | N2: 0.10m3/s(CX·AX) 0.08m3s(1x10)-7(Pa) |
最終壓力 | 10-9Pa order |
操作壓力 | -3Pa(建議值) 操作壓力：1×10-2(Pa) *(使用GST-07L控制器) |
體積 | 大約3.3 x 10-3m3 |
泵元件數 | CX2 cell(X1)，ax2 cell(X1) |
連接法蘭模型 | UFC 152 |
外加電壓 | DC+7.5kV |
標準烘焙溫度 | 250℃ |
重量 | 37kg 左右(帶加熱器) |
外型尺寸W×D×H | 155 x 340x340mm |
加熱器所需功率 | 單相200 V，320 W左右 |
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