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閱讀：1336發布時間：2022-7-28
無錫愛拓利電子科技有限公司帶您具體介紹氣體流量控制器的工作原理和用處特色
氣體流量控制器, 不光具有氣體流量計的功能，更重要的是，它能自動操控氣體流量，即用戶可根據需求進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即便體系壓力有動搖或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,氣體流量控制器就是一個穩流設備, 是一個能夠手動設定或與計算機聯接自動操控的氣體穩流設備。
氣體流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調理閥門和擴大操控器等部分組成。氣體流量傳感器選用毛細管傳熱溫差量熱法原理丈量氣體的氣體流量。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入擴大器擴大, 擴大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號擴大后去操控調理閥門，閉環操控流過通道的流量使之與設定的流量持平。分流器決定主通道的流量。與氣體流量控制器配套的流量顯現儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉化和三位閥控開關等。
用 途
氣體流量控制器用于對氣體的氣體流量進行精細丈量和操控。它在多個領域的科研和生產中有著重要而廣泛的應用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如分散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反響設備、混氣配氣體系、毛細管丈量、氣相色譜儀及其他各種類型的分析儀器。
特 點
氣體流量控制器具有精度高、重復性好、呼應速度快、軟啟動、穩定牢靠、工作壓力規模寬（能夠運用在高壓及真空體系）等特色。操作運用方便，對裝置位置不靈敏可任意位置裝置。配合流量顯現儀或氣體流量控制器顯現儀對氣體的瞬時流量和累積流量進行準確丈量和操控運用，也可直接同計算機連接，十分方便的實現自動操控。
5. 氣體流量控制器的首要優點是什么？
(1) 流量的丈量和操控不因溫度或壓力的動搖而失準。
(2) 丈量操控的自動化
(3) 準確地定量操控流量
(4) 適用規模寬
上述就是無錫愛拓利電子科技有限公司為您具體介紹的氣體流量控制器的工作原理和用處特色的全部內容，如有任何疑問，歡迎隨時咨詢。
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