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超快光譜干涉型測(cè)厚儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹：它以超高速，實(shí)時(shí)，高精度的晶片和樹(shù)脂非接觸方式測(cè)量晶片等的研磨和拋光過(guò)程。

詳細(xì)介紹

詳情介紹：

特殊長(zhǎng)度

可以進(jìn)行非接觸式，非破壞性的厚度測(cè)量
折反射系統(tǒng)（可以從一側(cè)接觸進(jìn)行測(cè)量）
高速（*高速度5kHz）和實(shí)時(shí)評(píng)估成為可能
實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性（重復(fù)精度不超過(guò)0.01％）
抗粗糙性強(qiáng)
可以應(yīng)付任何距離
支持多層結(jié)構(gòu)（*多5層）
內(nèi)置NG數(shù)據(jù)排除功能
可以進(jìn)行距離（形狀）測(cè)量（內(nèi)置傳感器隨附的選件）^*

*通過(guò)在測(cè)量范圍內(nèi)的光學(xué)距離測(cè)量

要點(diǎn)1：采用原創(chuàng)技術(shù)

實(shí)現(xiàn)高波長(zhǎng)分辨率，同時(shí)支持廣泛的膜厚度。
大冢電子的技術(shù)封裝在緊湊的機(jī)身中。

要點(diǎn)2：高速支持

它
也是工廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)的理想選擇，因?yàn)樗梢?*的間距測(cè)量運(yùn)動(dòng)的物體。

第三點(diǎn)：支持各種表面條件的樣品

約有φ20μm的微小斑點(diǎn)，
可以在各種表面條件下測(cè)量樣品的厚度。

Point4：與各種環(huán)境兼容

由于可以從*遠(yuǎn)200 mm的距離進(jìn)行測(cè)量，因此
可以根據(jù)目的和應(yīng)用構(gòu)建測(cè)量環(huán)境。

測(cè)量項(xiàng)目

厚度測(cè)量（5層）

用

各種厚膜構(gòu)件的厚度

產(chǎn)品信息
規(guī)格
基本配置
測(cè)量例

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