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    光譜橢偏儀FE-5000 / 5000S
    
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    聯系方式：吳先生查看聯系方式
    
									                                                 
    
						
    
							
    
								更新時間：2023-04-29 07:55:04瀏覽次數：334次
							
    
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    經營模式：代理商
    
						
    商鋪產品：1004條
    
						
    所在地區：江蘇蘇州市
    
						
    聯系人：吳先生 （銷售經理）
    												
					
    
				
    
			
    			
    
                                
    
                    產品簡介
                
    
				
    
                      
    
                                                                      
    
					
    簡單介紹：                            除了可以進行高精度薄膜分析的橢圓偏振光譜儀之外，我們還通過實現自動可變測量機制來支持所有類型的薄膜。除了常規的旋轉光子檢測器方法之外，通過為延遲板提供自動連接/分離機制，還提高了測量精度。
    
				
    
				
    
                    詳細介紹
                
    
			    
    
			        
    
			                     
                 詳情介紹：         
             
                 
     
     
     特殊長度 
     
       
    •  可以在紫外可見光（300-800 nm）波長范圍內測量橢偏參數。 
      •  
    •  可以進行納米級的多層薄膜厚度分析 
      •  
    •  通過多通道光譜儀可快速測量橢圓偏振光，可測量400通道或更多通道 
      •  
    •  通過可變反射角測量支持對薄膜的詳細分析 
      •  
    •  通過創建光學常數數據庫并添加配方注冊功能來提高可操作性。 
      •  
     
       
     
     測量項目 
     
       
    •  橢偏參數（tanψ，cosΔ）測量 
      •  
    •  光學常數（n：折射率，k：消光系數）分析 
      •  
    •  膜厚分析 
      •  
     
       
     
     測量目標 
     
       
    •  半導體晶片
       柵極氧化物薄膜，氮化物膜
       SiO 2，Si x O y，SiN，SiON，SiN x，Al 2 O 3，SiN x O y，多晶硅，ZnSe，BPSG，TiN的
       光學常數（波長色散）抵抗 
      •  
    •  化合物半導體
       Al x Ga （1-x）作為多層膜，非晶硅 
      •  
    •  FPD
       取向膜 
      •  
    •  各種新材料
       DLC（類金剛石），超導薄膜，磁頭薄膜 
      •  
    •  光學薄膜
       TiO 2，SiO 2，減反射膜 
      •  
    •  
       在每個波長下的光刻場n，k評估，例如g線（436 nm），h線（405 nm），i線（365 nm） 
      •  
     
       
     
     
     
       
    •  產品信息 
      •    
    •  原則 
      •    
    •  規格 
      •    
    •  測量例 
      •  
      
     相關信息 
     
     相關產品 
     
      
      
      
         		  反射光譜膜厚儀FE-3000  
     
      
      
         		  膜厚計FE-300  
     
      
      
         		  嵌入式膜厚監測儀  
     
      
      
         		  多通道光譜儀MCPD-9800 / 6800  
     
      
      
         		  光譜干涉晶圓測厚儀SF-3  
          
             
         
			        
    
			    
    
                			    
                                                				
			
    
			
    
		
    
	
    
	
    
    
		
    
			
    
				
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