半導體8寸，128寸ET4000臺階儀日本KOSAKA小坂微細形狀測定機
半導體8寸，128寸ET4000臺階儀日本KOSAKA小坂微細形狀測定機商品描述
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創立的公司，也是日本一家發表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。
產品概述：
● 高精度．安定性．機能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
●各機型詳細參數請與區域銷售聯系。
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數
*大試片尺寸重現性測定范圍分解能測定力
210×210mm~300×400mm
1σ 0.5nm以內
Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm)
Z:0.1nm X:0.1um
0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)
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