Brooks質量流量計(金屬轉子流量計) 返回列表頁

Brooks質量流量計儀表應用：

1.光端機。

2.LED/MOCVD。

3.半導體。

4.太陽能。

Brooks質量流量計儀表特點：

1.長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 0.2%。

2.能夠根據命令變化在 3 秒內完成設置并且過沖/下沖可忽略不計。

3.流量范圍寬 - 3 sccm 至高達 30,000 slpm。

4.高壓額定值 - 高達 1,500 psi。

5.可選增強型內部后處理工藝 - 5? 英寸 Ra（平均值）。

6.可拆卸式流量傳感器。

7.不受安裝角度影響。

8.其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容。

9.TTL 兼容型"閥關閉"和吹掃功能。

Brooks質量流量計儀表優勢：

1.全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風險。

2.在廣泛的工藝和應用范圍內擁有經認可的長期穩定性和準確性。

3.由于性能可靠，因此投資回報率出眾。

4.采用可拆卸式流量傳感器，因此無需對氣壓進行連續監測和重新調節。

5.由于模擬量僅為輸入/輸出，因此易于安裝和保養。