BROOKS 5851E質量流量控制器 質量流量計 返回列表頁

操作原理

BROOKS流量控制器運用熱動力學原理，一個有精確電源的加熱器為內有連續穩定氣流的

傳感器套管的中部加熱，在同一套管距加熱器等距的地方各有一個電阻性的溫度測量元件。

沒有氣流時，到達兩個溫度測量元件的熱量是相等的：有氣流時則氣流帶走熱量，兩溫度

測量元件就有了溫度差異，溫度差異的大小和流量的大小成正比。該溫度差異通過橋式電

路來反映，然后放大裝置，以0－5V的輸出電壓輸出到控制電路。

◎在無流量的情況下，熱量會均勻的分散在每個溫度元件中，隨著流量的增加，流體帶著

熱量從上游（該處溫度為T1）到達下游，則下游溫度上升（該處溫度為T2），不同的溫

度上升通過兩處元件顯示，這種差異均衡的計量了氣流或流速，電路顯示溫度的不同而

放大器提供輸出量給控制電路也就是0.5伏的輸出信號。控制電路比較設定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當設定值低于2％時，控制閥*關閉，控制閥由它的控制

電路控制能*打開或關閉。◎

控制電路比較設定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當設定值低于2％時，

控制閥*關閉，控制閥由它的控制電路控制能*打開或關閉。

!警告

請勿在超過如下規格書說明范疇外操作本儀器，忽視此警告可能造成一系列對該儀器的

損壞或損傷。