招標東南大學電子科學與工程學院原子層沉積系統采購公開招標公告

一、項目基本情況

項目編號：SEU-ZB-250655

項目名稱：東南大學電子科學與工程學院原子層沉積系統采購

預算金額：48.000000 萬元（人民幣）

采購需求：

電子科學與工程學院采購原子層沉積系統1套，主要技術要求如下：

①腔室：外熱式單腔腔室，真空環境下無加熱器，前驅體源不可以任何方式接觸加熱器，反應腔室可放下最大8英寸晶圓；

②反應溫度：最高不超過150℃，溫度控制精度±1℃,可以在≤100℃下制備SnO2；

③標準加熱液態前驅體源3路，配置swagelok高溫快速ALD閥（響應時間＜10ms）、手動閥、50ml不銹鋼源瓶，源瓶及管路加熱溫度RT-200℃，控制精度±1℃。

合同履行期限：詳見采購文件

本項目( 不接受  )聯合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

非專門面向中小企業、監獄企業、殘疾人福利性單位采購的項目。

3.本項目的特定資格要求：（1）具有獨立承擔民事責任的能力（提供法人或者其他組織的營業執照復印件）。（2）投標供應商須提供法定代表人授權書原件、法定代表人身份證復印件、授權代表身份證復印件和授權代表在公司內近3個月內的社保繳納證明（如果是法定代表人直接參與投標的可以不提供授權書）。

三、獲取招標文件

時間：2025年07月30日  至 2025年08月05日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京時間，法定節假日除外）

四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點

提交投標文件截止時間：2025年08月19日 14點30分（北京時間）

開標時間：2025年08月19日 14點30分（北京時間）

地點：江蘇省南京市玄武區四牌樓2號東南大學微波樓304室

五、公告期限

自本公告發布之日起5個工作日。