《等離子體化學(xué)氣相沉積光纖預(yù)制棒制備設(shè)備》征求意見

　　【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】近日，由全國(guó)城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會(huì)歸口管理，武漢友美科自動(dòng)化有限公司等相關(guān)單位共同起草的《等離子體化學(xué)氣相沉積光纖預(yù)制棒制備設(shè)備》編制完成并征求意見，時(shí)間截止到2023年5月12日。(反饋至biaozhun@ceun.org)
 

　　本文件規(guī)定了等離子體化學(xué)氣相沉積光纖預(yù)制棒制備設(shè)備的術(shù)語和定義、設(shè)備構(gòu)成、要求、現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試。本文件適用于等離子體化學(xué)氣相沉積光纖預(yù)制棒制備設(shè)備的生產(chǎn)與檢驗(yàn)。
 

　　設(shè)備構(gòu)成主要包含以下部分:PCVD沉積床;PCVD流量柜;自動(dòng)控制與保護(hù)系統(tǒng);PCVD熔縮床;石墨爐系統(tǒng);預(yù)熱爐;真空系統(tǒng)。
 

　　各種鹵化物SiCl₄、GeCl₄的蒸氣和O₂、C₂F₆、BCI₃等氣體的混合物從氣體流量控制柜中輸出到石英玻璃反應(yīng)管中，石英玻璃管另一端連接到真空泵，使石英玻璃管中的混合氣體維持在1kPa左右。石英玻璃管被一只金屬諧振腔環(huán)繞，頻率為2450MHz的微波能量輸入到諧振腔中，使反應(yīng)管中的原料氣體電離形成等離子體并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)。諧振腔沿石英玻璃管快速運(yùn)動(dòng)，形成厚度小于1μm的薄膜，均勻地沉積在管壁內(nèi)，當(dāng)達(dá)到一定厚度時(shí)，將玻璃管進(jìn)行熔縮，支撐光纖預(yù)制棒。
 

　　控制系統(tǒng)控制內(nèi)容包括:
 

　　——主控系統(tǒng):應(yīng)能自動(dòng)以曲線圖形式記錄各個(gè)流量值、平移、旋轉(zhuǎn)的速度、溫度等;
 

　　——反應(yīng)物流量控制系統(tǒng):應(yīng)能通過測(cè)量載氣量和載氣與原料比率，控制物料蒸汽流量;
 

　　——反應(yīng)物料料溫控制系統(tǒng):應(yīng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物料溫度，并實(shí)時(shí)進(jìn)行溫度調(diào)整;
 

　　——微波腔體載臺(tái)平移控制系統(tǒng):應(yīng)能通過交流伺服驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)沉積平移，每段斜率應(yīng)能獨(dú)立調(diào)節(jié)，其相關(guān)技術(shù)指標(biāo)應(yīng)能在計(jì)算機(jī)屏幕上動(dòng)態(tài)顯示;
 

　　——反應(yīng)管控制系統(tǒng):應(yīng)能任意調(diào)節(jié)，角度精確到1°;
 

　　——壓力控制系統(tǒng):混合腔的壓力及出氣端壓力應(yīng)能通過調(diào)節(jié)氧氣的補(bǔ)給量自動(dòng)控制;
 

　　——預(yù)熱爐爐溫控制及升降動(dòng)作系統(tǒng):應(yīng)能對(duì)爐溫進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)，并應(yīng)實(shí)現(xiàn)預(yù)熱爐的升降、開合動(dòng)作要求;
 

　　——冷卻水路監(jiān)控系統(tǒng):應(yīng)能對(duì)冷卻水路進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。
 

　　PCVD熔縮設(shè)備及控制系統(tǒng)包括:
 

　　——主控制:應(yīng)實(shí)時(shí)監(jiān)控走速、旋轉(zhuǎn)速度、壓力、流量等;
 

　　——流量控制:應(yīng)根據(jù)工藝需求對(duì)氫氧焰的火力大小進(jìn)行控制;
 

　　——旋轉(zhuǎn)控制:應(yīng)采用交流伺服系統(tǒng)保證旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)勻速進(jìn)行;
 

　　——平移控制:應(yīng)根據(jù)工藝需求實(shí)現(xiàn)離合切換的快慢走速，并能在計(jì)算機(jī)上動(dòng)態(tài)顯示;
 

　　——壓力控制系統(tǒng):應(yīng)同時(shí)控制進(jìn)氣端壓力、出氣端壓力、火焰大小;
 

　　——熔縮設(shè)備總控制:應(yīng)實(shí)現(xiàn)全過程的全自動(dòng)控制。