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    光柵技術(shù)中心“一維光柵線位移傳感器”榮獲首屆“金燧獎”銀獎

    儀表研發(fā) 2022年12月14日 15:07:34來源:長春光機(jī)所光柵技術(shù)中心 劉兆武 22133
    摘要近日,中國光學(xué)工程學(xué)會發(fā)布2022年首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜獲獎名單,長春光機(jī)所光柵技術(shù)中心開發(fā)的“一維光柵線位移傳感器”榮獲銀獎。

      【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】近日,中國光學(xué)工程學(xué)會發(fā)布2022年首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜獲獎名單,長春光機(jī)所光柵技術(shù)中心開發(fā)的“一維光柵線位移傳感器”榮獲銀獎。
     
      “金燧獎”中國光電儀器品牌榜旨在面向國家重大戰(zhàn)略需求,以促動關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān),突破“卡脖子”技術(shù)發(fā)揮關(guān)鍵作用為出發(fā)點(diǎn),重點(diǎn)評選出我國自主研發(fā)、制造、生產(chǎn)的高端光電儀器,為助力我國自主研發(fā)的科學(xué)儀器搶占科技戰(zhàn)略制高點(diǎn)、樹立民族品牌自信、展現(xiàn)自主核心競爭力、開拓國內(nèi)外應(yīng)用市場創(chuàng)造新的機(jī)遇。
     
      光柵位移測量以光柵柵距為基準(zhǔn),不易受環(huán)境擾動影響,具有更高的抗干擾能力和測量重復(fù)性精度,成為高端光刻機(jī)、高檔數(shù)控機(jī)床等高精度測量需求領(lǐng)域活力發(fā)展的方向。團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)了小型化、高刻線密度一維光柵線位移傳感器,首創(chuàng)基于錐面衍射和光柵偏振調(diào)制的光柵位移測量方法,解決了衍射干涉光柵測量中反、衍射光信號混疊引入相位誤差和波片參數(shù)引入多階非線性誤差的問題。一維光柵線位移傳感器攻克錐面衍射共點(diǎn)測量、各向異性衍射偏振調(diào)制、雙向多普勒干涉測量等多項(xiàng)核心關(guān)鍵技術(shù),打破國外相關(guān)技術(shù)封鎖,實(shí)現(xiàn)555nm柵距下350mm位移測量。
     
    圖1光柵線位移傳感器測量原理圖
     
      “中國制造2025”發(fā)展戰(zhàn)略對高端裝備制造業(yè)的質(zhì)量提出了更高要求,超精密測量對提升高端裝備制造質(zhì)量具有基礎(chǔ)支撐作用,并在制造全過程中的質(zhì)量控制發(fā)揮決定性作用。“一維光柵線位移傳感器”打破該領(lǐng)域的對外依賴,有效提升了我國關(guān)鍵核心部件研發(fā)水平,推動了高精度位移測量核心部件國產(chǎn)替代,全面支撐我國高端裝備制造能力跨越式發(fā)展!
     
      2022年首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜獲獎名單公示
     

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