一、簡介：
適合微小流量氣體質量流量（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。是結合微機電系統( MEMS)流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經多年，開發出的智能化全電子式氣體質量流量儀表。主要技術性能處于*水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點。針對工業環境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計：且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能。
本產品在性能、安裝、維護方面也具有其*的*性，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。采用微機電系統芯片加工技術和犬規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級．使該流量計的靈敏度大大提高。
二、應用：
氣體質量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對氣體的質量流量進行精密測量。它們在多個領域的科研和生產中有著重要而廣泛的應用。其典型的應用場合包括：宅子工藝設備，如擴散、氧化、分子束外廷、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入，以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它各種類型的分析儀器。
三、熱式氣體質量流量控制器特點：
1、采用微機電系統芯片加工技術和大規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
2、在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
3、傳感器零點穩定度較之傳統的熱式質量流量計有*的改善。
4、結合二次儀表的微電腦智能按術，使流量計重復性好，實現了計量準確可靠。
5、技術進步帶來的結構簡化，使流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，*地降低了能源消耗。
6、微功耗設計。采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直稠，讀數方便
7、產品融臺了電磁兼容設計技術，具有更高抗*力。
8、流量計帶有R5485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。
四、熱式氣體質量流量控制器產品安裝
本產品*為水平安裝。基座上的箭頭標記方向為介質流向。介質進出端口連接必須正確，進口端
需裝高效過濾器。
安裝步驟如下：
(1)取出流量計后檢查其外表，確定無損傷；
(2)連接并清潔管道；
(3)將流量計安裝到管道上，并注意如下事項：
①為了保證流量計的計量準確性，安裝時要先連接流量計的上游端，上游直管段應滿足10DN的
zui低要求，下游直管段應滿足5DbJ的zui低要求j
②流量計安裝時不髓有任何密封物質滲入管道內：
(4)連接電源電纜線，需要注意接線時的極性，確保輸入的直流電壓在(5~12) VDC；
(5)如需要連接信號線，應保障信號線與相應用戶界面端連接無誤j
(6)接通電源，液晶屏顯示正確。
(7)開啟管道上下游的閥門，流量計開始計量管道中的氣體流流量。
五、選型：
六、技術指標：
