INFICON SKY CDG025D電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空機，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能，*的數(shù)字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點，如一鍵調(diào)零功能和設點調(diào)整，抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性與預期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。*的傳感器屏敝（技術(shù)）保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學加強了EMC兼容性，*穩(wěn)定性和溫度補償性。CDG025D真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準。
優(yōu) 點
◆ 全刻度范圍從100毫乇…1000乇
◆ 電源接通后的快速穩(wěn)定性
◆ 暴露大氣壓后的快速恢復性
◆ 抗腐蝕性陶瓷傳感監(jiān)測器
◆ 的*訊號穩(wěn)定性
◆ 溫度補償
◆ 保護傳感器防止污染
◆ 一鍵調(diào)零功能
◆ 寬范圍電源
◆ 2個設點（選項）
◆ RS232接口（選項）
用 途
要求高的應用條件下，精確而快速的壓強測量:
◆ 用于刻蝕，CVD, PVD, ALD半導體制造設備
◆ 資料貯存和顯示器制造設備
◆ 工業(yè)真空設備
◆ 常用高精度真空測量
訂 貨 資 料
CDG025D，溫度補償型
全刻度范圍 法蘭型式
Torr
Pascal
Mbar
1/2”tube
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1000
133322
1333
375-000
375-001
375-002
375-003
100
13332
133
376-000
376-001
376-002
376-003
10
1333
13.3
377-000
377-001
377-002
377-003
1
13.3
0.13
378-000
378-001
378-002
378-003
0.1
13.3
0.13
379-000
379-001
379-002
379-003
CDG025D, 溫度補償型，帶2個設點和RS232接口
全刻度范圍 法蘭型式
Torr
Pascal
Mbar
1/2”tube
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1000
133322
1333
375-300
375-301
375-302
375-303
-
110000
1100
375-500
375-501
375-502
375-503
200
26664
267
382-300
382-301
-
-
100
13332
133
376-300
376-301
376-302
376-303
-
10000
100
376-500
376-501
376-502
376-503
20
2666
26.7
-
-
-
-
10
1333
13.3
377-300
377-301
377-302
377-303
-
1000
10
377-500
377-501
377-502
377-503
1
133
1.3
378-300
378-301
378-302
378-303
-
100
1
378-500
378-501
378-502
378-503
0.25
33.3
0.33
385-300
385-301
385-302
385-303
0.1
13.3
0.13
379-300
379-301
379-302
379-303
-
10
0.1
319-500
379-501
379-502
379-503
623A 壓力傳感器
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FC-D770數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
