反應艙 | 材料：鋁 有效尺寸：600 x 600 x 600mm 容積：216升 艙門：裝有可視窗口 托盤：5個 尺寸：562 x 660 x 40mm |
真空度測量 | 皮拉尼真空計 |
真空泵 | 旋片式真空泵；60m3/h；含真空泵油 |
頻射發生器 | 0~1000W可調，100KHz發生器 |
控制系統 | PLC可實現下列功能： l 自動控制反應過程； l 根據處理材料設定不同的處理工藝參數； l 測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標； l 監測所有的運行指標，保證各項參數在設定范圍之內； l 設定操作、維護密碼。 |
電源 | 380V AC, 三相，50HZ, 40A |
反應氣體 | 一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC） |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸（6.35mm） 管道；輸入壓力：1Bar |
尾氣排放 | 直徑28mm輸出端口 |
安全性能 | 急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE安全認證。 |
可選件：
- 300 m3/小時 的機械增壓泵
- 頻射發生器：2.45GHZ, 13.56MHZ
- 多個氣體輸入管道。
- 根據客戶工藝要求制作的軟件程序
- 根據客戶要求制作的托盤及輥輪式載料系統。
