1479A MKS質量流量計采用全金屬密封設計，做工堅固。適用于有毒和腐蝕性氣體。1479A流量計連接適當壓力傳感器可作壓力控制器。1479A的精度為滿量程的±1%。
1479A選型：1479A00411CR1A6MXX
前綴 | 編碼 |
1479A | 1479A |
氣體選擇 | |
Helium, He | 001 |
Argon, Ar | 004 |
Hydrogen, H2 | 007 |
Nitrogen, N2 | 013 |
Oxygen, 02 | 015 |
流量選擇 | |
10 | 11C |
20 | 21C |
50 | 51C |
100 | 12C |
200 | 22C |
500 | 52C |
1000 | 13C |
2000 | 23C |
5000 | 53C |
10000 | 14C |
20000 | 24C |
接口法蘭選擇 | |
標準Swagelok 4VCR 公頭 | R |
可選擇VCO管 | G |
可選擇Swagelok 1／4”管 | S |
C-密封表面支架如SEMI2787.1 | C |
W-密封表面支架如SEMI2787.3F | H |
閥門選擇 | |
通常情況關閉 | 1 |
電通訊連接方式 | |
模擬接口 | |
9針“D”類型 | A |
15針“D”類型 | B |
20針“D”類型 | C |
數字接口 | |
RS-485 | 5 |
DeviceNetTM | 6 |
密封選擇 | |
金屬，在200sccm以下流量的用Kel-F閥塞，在500sccm以上的用杜邦閥塞 | M |
版本-*總線適配器 | N |
除了客戶，MKS公司將給當前的版本 | B |
