GM-7060光罩技術全自動影像測量儀
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- 主要特點
產品特點:
* 基座、立柱、工作臺全機采用精密00級花崗巖,降低形變系數,穩定性高;
* 三軸高精度伺服馬達傳動;
* 七海*光罩技術測量儀,無光學尺和編碼器,無阿貝誤差,精度不受機械誤差影響;
* 技術突破,懸臂式大行程影像測量儀,高精度,無累計誤差;
* 可搭配激光測頭應用;
* 搭配七海專業版測量軟件EF系列軟件;
* 芯片、電路板、銘版、印刷、Touch Panel等測量機型。
技術參數:
型號 GM-7060 行程(mm) X 700 Y 600 Z 100 外型尺寸 1860x1270x1680 工作臺大小 1020x920 工作臺承重(kg) 5kg 機臺重量 800kg 軸向測量精度 XY(3um+5L/1000)um 平面精度 < 5 μm 控制方式 自動 攝像機 SOV-*高解析1/3” 彩色CCD SOV-A 級測量型鏡頭 光源 輪廓光 LED,亮度連續可調 表面光 LED,亮度連續可調 放大倍數 30x-200x(光學放大倍率為0.7-4.5倍) 選配功能 七海 16向全視角旋轉燈源系統 七海 12段自動變焦鏡頭 美國NAVITA測量鏡頭 觸發測頭探針組(智慧型探針測量系統) 激光位移感測系統 工作距離 90mm 電源 220 V ± 10% ,50 Hz
(用電設備要求接地可靠:接地電阻小于4歐姆)工作環境 20℃ ± 2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度45% ~ 75% 振動<0.002g,低于15Hz - 相關產品
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