韓國*數(shù)字式、高精度氣體質(zhì)量流量計/氣體質(zhì)量流量控制器，使用特別的熱傳感器和控制電路提高計算精度。廣泛應(yīng)用于半導體工業(yè)和其他行業(yè)，產(chǎn)品設(shè)計堅固、耐用，且經(jīng)濟。
應(yīng)用：
LINE TECH氣體質(zhì)量流量流量計和流量計廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
優(yōu)勢：
測量質(zhì)量流量 不需要溫度、壓力補償 緊湊的流量控制系統(tǒng)
精度（±0.2%F.S） 耐高壓（70公斤） 快速響應(yīng)時間（＜1秒）
高重復(fù)性（±0.25%F.S） 數(shù)字通信：RS-485
規(guī)格：
| 型號 | MD100C |
| 流量范圍（N2） | 30~100 slpm |
| 響應(yīng)時間 | ＜2秒 |
| 精確度 | ±0.2% |
| 重復(fù)精度 | ±0.25% |
| 輸入輸出信號 | 0~5Vdc or 4~20mA |
| 通訊信號 | RS485 |
| 供 電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| zui大工作壓力 | ＜ 70 bar |
| zui大工作溫度 | 0~50℃ |
| 漏 率 | 1×10-9atm.cc/sec |
| 控制范圍 | 2~ |
尺寸：
